[发明专利]绘画装置和制造物品的方法

权利要求书

1.一种用于利用带电粒子束在基板上执行绘画的绘画装置，所述装置包括：

投射系统，所述投射系统被配置为将所述带电粒子束投射到基板上；以及

控制器，所述控制器被配置为基于所述带电粒子束在基板上的多个位置中的每一个相对于与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置的位移的信息、以及与所述多个位置中的每一个相对应的目标位置处的带电粒子束的目标剂量，来控制所述多个位置中的每一个处的带电粒子束的剂量，所述控制器被配置为根据与所述多个位置中的一个位置相对应的目标位置处的带电粒子束的目标剂量对所述多个位置中的一个位置处的带电粒子束的剂量进行插值，并且其中，所述插值通过对与所述多个位置中的一个位置相邻的目标位置处的带电粒子束的剂量进行分割来确定所述多个位置中的一个位置处的带电粒子束的剂量，并且其中，基于所述多个位置中的一个位置和目标位置之间的距离通过对所述多个位置中的所述一个位置的目标位置处的目标剂量进行分割，来确定所述多个位置中的所述一个位置处的带电粒子束的剂量，其中所述多个位置中的一个位置和目标位置之间的距离作为所述信息。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括检测器，所述检测器被配置为检测带电粒子束，

其中，所述控制器被配置为基于来自所述检测器的输出来获得所述信息。

3.根据权利要求1所述的装置，还包括消隐设备，所述消隐设备被配置为执行带电粒子束的消隐，

其中，所述控制器被配置为通过控制所述消隐设备来控制剂量。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述控制器被配置为通过控制照射所述多个位置中的每一个所利用的带电粒子束的数量来控制剂量。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，

所述绘画装置利用多个带电粒子束执行绘画，

所述投射系统被配置为将所述多个带电粒子束投射到基板上，并且

所述控制器被配置为确定所述投射系统的投射倍率，并且获得利用所述投射倍率投射在基板上的所述多个带电粒子束中的每一个相对于与所述多个带电粒子束中的每一个相对应的目标位置的位移的信息作为所述信息。

6.一种用于利用多个带电粒子束在基板上执行绘画的绘画装置，所述装置包括：

投射系统，所述投射系统被配置为将所述多个带电粒子束投射到基板上；以及

控制器，所述控制器被配置为基于所述多个带电粒子束中的每一个在基板上的目标位置、所述多个带电粒子束中的每一个的目标位置处的目标剂量、以及所述多个带电粒子束中的每一个在基板上的位置相对于与所述多个带电粒子束中的每一个相对应的目标位置的位移，来控制所述多个带电粒子束中的每一个在基板上的位置处的剂量，所述控制器被配置为根据所述多个带电粒子束中的一个带电粒子束的目标位置处的目标剂量对所述多个带电粒子束中的所述一个带电粒子束的位置处的剂量进行插值，并且其中，所述插值通过对与所述多个带电粒子束中的所述一个带电粒子束的位置相邻的目标位置处的带电粒子束的剂量进行分割来确定所述多个带电粒子束中的所述一个带电粒子束的位置处的剂量，并且其中，基于所述多个带电粒子束中的一个带电粒子束的位置和目标位置之间的距离通过对所述多个带电粒子束中的所述一个带电粒子束的位置的目标位置处的目标剂量进行分割，来确定所述多个带电粒子束中的所述一个带电粒子束的位置处的剂量。

7.根据权利要求6所述的装置，还包括检测器，所述检测器被配置为检测多个带电粒子束中的每一个，

其中，所述控制器被配置为基于来自所述检测器的输出来获得关于所述多个带电粒子束中的每一个在基板上的位置的位移的信息。

8.根据权利要求6所述的装置，还包括消隐设备，所述消隐设备被配置为执行多个带电粒子束中的每一个的消隐，

其中，所述控制器被配置为通过控制所述消隐设备来控制所述多个带电粒子束中的每一个的位置处的剂量。

9.根据权利要求6所述的装置，其中，所述控制器被配置为通过控制照射所述多个带电粒子束中的每一个在基板上的位置所利用的带电粒子束的数量来控制所述多个带电粒子束中的每一个的位置处的剂量。

10.根据权利要求6所述的装置，

其中，所述控制器被配置为确定所述投射系统的投射倍率，并且获得关于利用所述投射倍率投射在基板上的所述多个带电粒子束中的每一个的位置的位移的信息。