[发明专利]外观检查装置有效

专利信息
申请号: 201410283324.0 申请日: 2014-06-23
公开(公告)号: CN104422699A 公开(公告)日: 2015-03-18
发明(设计)人: 白石一成 申请(专利权)人: 上野精机株式会社
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 沈捷
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 外观 检查 装置
【权利要求书】:

1.一种外观检查装置,对包括相对的侧面A、侧面B及相对的侧面C、侧面D在内的俯视观察呈矩形或正方形的电子元器件进行外观检查,其特征在于,包括:

旋转体,对所述电子元器件分别进行保持的多个支承部隔着间隔呈圆状地安装于该旋转体,该旋转体间歇地旋转,使得被各所述支承部以所述侧面A、侧面B沿着旋转方向且所述侧面C、侧面D中的一方相对于另一方配置于旋转方向上游侧的状态保持的所述电子元器件依次暂时停止于第一检查位置和第二检查位置中的一方及另一方;

第一摄像元件,该第一摄像元件对暂时停止于所述第一检查位置的所述电子元器件的侧面A进行摄像;

光路调节元件b,该光路调节元件b改变光的前进方向,使暂时停止于所述第一检查位置的所述电子元器件的侧面B的外观落在对该电子元器件的侧面A进行摄像的所述第一摄像元件的图像中;

第二摄像元件,该第二摄像元件对暂时停止于所述第二检查位置的所述电子元器件的侧面C进行摄像;以及

光路调节元件d,该光路调节元件d改变光的前进方向,使暂时停止于所述第二检查位置的所述电子元器件的侧面D的外观落在对该电子元器件的侧面C进行摄像的所述第二摄像元件的图像中;

所述外观检查装置对所述电子元器件的侧面A、侧面B、侧面C、侧面D进行外观检查。

2.如权利要求1所述的外观检查装置,其特征在于,还包括:

光路调节元件a,该光路调节元件a使从暂时停止于所述第一检查位置的所述电子元器件的侧面A到所述第一摄像元件为止的光学路径的长度与从暂时停止于所述第一检查位置的所述电子元器件的侧面B到所述第一摄像元件为止的光学路径的长度相同;以及

光路调节元件c,该光路调节元件c使从暂时停止于所述第二检查位置的所述电子元器件的侧面C到所述第二摄像元件为止的光学路径的长度与从暂时停止于所述第二检查位置的所述电子元器件的侧面D到所述第二摄像元件为止的光学路径的长度相同。

3.如权利要求2所述的外观检查装置,其特征在于,

所述光路调节元件a、光路调节元件b、光路调节元件c、光路调节元件d分别具有棱镜。

4.如权利要求1至3中任一项所述的外观检查装置,其特征在于,

设有使各所述支承部个别地进退的驱动源。

5.如权利要求1至4中任一项所述的外观检查装置,其特征在于,

所述第一摄像元件获得将所述电子元器件的侧面A、侧面B并列排列的图像,所述第二摄像元件获得将所述电子元器件的侧面C、侧面D并列排列的图像。

6.如权利要求1至5中任一项所述的外观检查装置,其特征在于,

所述外观检查装置包括零件供给元件,该零件供给元件从排列有多个所述电子元器件的晶片取出该电子元器件,并将其供给至所述支承部。

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