[发明专利]双重图案化布局设计方法

权利要求书

1.一种双重图案化布局设计方法，包括步骤：

在原理电路上定义关键路径，所述关键路径包括第一路径和第二路径；以及

定义双重图案化布局，所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局，所述双重图案化布局与所述原理电路相对应，

其中，定义所述双重图案化布局的步骤包括在所述原理电路上锚定所述关键路径，

其中，在所述原理电路上锚定所述关键路径包括：为与所述第一路径相对应的第一多边形应用多个颜色，为与所述第二路径相对应的第二多边形应用所述多个颜色，并且使所述第一多边形和所述第二多边形的色比匹配。

2.根据权利要求1所述的双重图案化布局设计方法，其中，定义所述关键路径的步骤包括在所述原理电路上将对于定时是关键的第一信号线和第二信号线分别定义为所述第一路径和所述第二路径。

3.根据权利要求1所述的双重图案化布局设计方法，其中，通过预定义与所述关键路径相对应的有色多边形布局来锚定所述关键路径。

4.根据权利要求1所述的双重图案化布局设计方法，其中，定义所述双重图案化布局的步骤还包括定义与所述原理电路相对应的无色布局，其中，通过在所述无色布局上对与所述关键路径相对应的多边形进行预着色来锚定所述关键路径。

5.一种双重图案化布局设计方法，包括步骤：

接收关于已定义的原理电路和在所述原理电路上定义的关键路径的信息,所述关键路径包括第一路径和第二路径；

定义双重图案化布局，所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局，所述双重图案化布局与所述原理电路相对应；以及

输出已定义的双重图案化布局，

其中，定义所述双重图案化布局的步骤包括在所述原理电路上锚定所述关键路径，

其中，在所述原理电路上锚定所述关键路径包括：为与所述第一路径相对应的第一多边形应用多个颜色，为与所述第二路径相对应的第二多边形应用所述多个颜色，并且使所述第一多边形和所述第二多边形的色比匹配。

6.根据权利要求5所述的双重图案化布局设计方法，其中，通过预定义与所述关键路径相对应的有色多边形布局来锚定所述关键路径。

7.根据权利要求5所述的双重图案化布局设计方法，其中，定义所述双重图案化布局的步骤还包括定义与所述原理电路相对应的无色布局，其中，通过在所述无色布局上对与所述关键路径相对应的多边形进行预着色来锚定所述关键路径。

8.一种配置为用于设计双重图案化布局的系统，其包括：

处理器，其配置为在原理电路上对包括第一路径和第二路径的关键路径进行定义，并且对双重图案化布局进行定义，所述双重图案化布局被划分成具有第一颜色的第一掩模布局和具有第二颜色的第二掩模布局，所述双重图案化布局与所述原理电路相对应，

其中，对所述双重图案化布局进行定义包括在所述原理电路上对所述关键路径进行锚定，

其中，在所述原理电路上对所述关键路径进行锚定包括：为与所述第一路径相对应的第一多边形应用多个颜色，为与所述第二路径相对应的第二多边形应用所述多个颜色，并且使所述第一多边形和所述第二多边形的色比匹配。

9.根据权利要求8所述的系统，其中，对所述关键路径进行定义包括在所述原理电路上将对于定时是关键的第一信号线和第二信号线分别定义为所述第一路径和所述第二路径。

10.根据权利要求8所述的系统，其中，通过对与所述关键路径相对应的有色多边形布局进行预定义来锚定所述关键路径。