[发明专利]保管设备

说明书

本发明实现一种保管设备，能够以简单的构成，抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。保管设备包括：在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置；向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。保管装置包括气体排出部，将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部。气体排出部包括作为限制气体的流量的节流部起作用的节流开口部，节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧。

技术领域

本发明涉及一种保管设备，其包括在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部的保管装置、向收纳在收纳部的容器的内部供给惰性气体的惰性气体供给部。

背景技术

日本特开平11-168135号公报(专利文献1)公开了如上所述的保管设备的一个例子。专利文献1的0101-0118段记载了以下技术：通过向收纳在保管装置的收纳部的容器的内部供给惰性气体，将该容器的内部的气体替换为惰性气体，将该容器的内部的氧、水蒸气的浓度抑制得较低。另外，在专利文献1的0103段记载了在将容器的内部的气体替换为惰性气体时，将与容器的盖部连接的配管作为排出容器内的气体的排气口使用。

发明内容

用于解决问题的方案

可是，如上所述在将容器的内部的气体替换为惰性气体时，包含惰性气体供给部所供给的惰性气体的容器的内部的气体被排出到容器的外部。即，从容器排出的气体中包含与空气相比浓度高的惰性气体，从容器排出的气体的氧浓度与惰性气体的浓度变高相应地降低。因此，将从容器排出的气体原样排出到保管空间的外部是不理想的。这是因为，在惰性气体的浓度高的气体排出到保管空间的外部的情况下，有的情况下需要限制保管装置的周边的操作者的移动范围，或者在操作者操作时停止惰性气体向容器内部的供给。然而，在专利文献1中，关于这一点没有特别的认识。

因此，期望实现一种保管设备，其能够以简单的构成抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。

本发明所涉及的保管设备包括：保管装置，在与外部划分形成的保管空间的内部包括多个收纳部；惰性气体供给部，向收纳在所述收纳部的容器的内部供给惰性气体，此处，所述保管装置包括气体排出部，将包含从所述容器排出的气体的所述保管空间的内部的气体排出到所述保管空间的外部，所述气体排出部包括节流开口部，作为限制气体的流量的节流部起作用，所述节流开口部形成在所述收纳部的配置区域的下侧。

根据上述构成，由于气体排出部被构成为：将包含从容器排出的气体的保管空间的内部的气体排出到保管空间的外部，因此能够将从容器排出的气体与保管空间的内部的气体混合，之后排出到保管空间的外部。此时，由于气体排出部包括作为节流部起作用的节流开口部，因此与不包括节流开口部的情况相比，能够促进保管空间的内部的气体的混合。即，能够以设有节流开口部这样的简单的构成，利用保管空间使从容器排出的气体与保管空间的内部的气体适当混合，结果，能够抑制排出到保管空间的外部的气体中惰性气体的浓度。

另外，根据上述构成，由于节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧，因此，能够将利用气体排出部排出气体的部位形成在靠近底板部的位置。因此，例如在保管设备设置在下流式的无尘室内的情况下，能够将气体排出部排出到保管空间的外部的气体边利用下流抑制从底板部的浮起，边流动至无尘室的空气的循环路径中。其结果是，抑制底板部的上侧形成的操作空间中惰性气体的浓度变得容易。

进一步，配置在最下部的收纳部的高度例如由于在保管空间的内部运送容器的内部运送装置的构造上的限制等，一般而言设定在比底板部高的位置。根据上述构成，由于节流开口部形成在收纳部的配置区域的下侧，因此在最下部的收纳部与底板部之间形成空间的情况下，能够有效利用该空间来设有气体排出部。

下面，说明本发明的优选实施方式的例子。