[发明专利]软磁性靶材在审
| 申请号： | 201410287333.7 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN104032276A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 柳谷彰彦;相川芳和 | 申请（专利权）人： | 山阳特殊制钢株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;H01F41/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁性 | ||
【权利要求书】：
1.一种软磁性靶材，是由Fe-Co系合金构成的软磁性靶材，其用于形成软磁性非晶薄膜，在所述靶材中，含有30原子％以下的从B、Nb、Zr、Ta、Hf、Ti以及V所构成的群中选择的1种或2种以上，并含有0.2～5原子％的Al或Cr中的1种或2种。
2.根据权利要求1所述的软磁性靶材，其中，所述Fe-Co系合金中的Fe：Co的原子比为100：0～20：80的范围。
3.根据权利要求1所述的软磁性靶材，其中，所述Fe-Co系合金中的Fe：Co的原子比为90：10～20：80的范围。
4.一种权利要求1～3中任一项所述的靶材的使用，用于通过溅射法形成由Fe-Co系合金构成的软磁性非晶薄膜。
5.一种软磁性非晶薄膜的制造方法，其中，在通过溅射法形成由Fe-Co系合金构成的软磁性非晶薄膜时，作为靶材使用权利要求1～3中任一项所述的靶材。
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