[发明专利]物品保管设备的检查装置

权利要求书

1.一种物品保管设备的检查装置，

所述物品保管设备包括：

多个收纳部，具有对运送容器进行载置支撑的载置支撑部，能将所述运送容器在被所述载置支撑部支撑的状态下收纳，所述运送容器在底部形成有惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳预先规定的片数以内的基板；

惰性气体供给部，具有供给喷嘴，所述供给喷嘴是配设在所述载置支撑部的喷嘴，所述喷嘴由于被所述载置支撑部支撑的所述运送容器的自重而与所述给气口接合，向该运送容器的内部注入所述惰性气体，

所述物品保管设备的检查装置的特征在于，

所述物品保管设备的检查装置是在被所述载置支撑部支撑的状态下检查由所述惰性气体供给部进行的所述惰性气体的供给状态的装置，

包括由于被所述载置支撑部支撑的所述检查装置的自重而与所述供给喷嘴接合的检查用给气口，

在被所述载置支撑部支撑的状态下的所述检查装置的沿着水平面的方向的重心位置与所述运送容器被所述载置支撑部支撑的状态下的所述运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致。

2.如权利要求1所述的物品保管设备的检查装置，其特征在于，

所述检查装置的重量比在所述运送容器容纳最大片数所述基板时的所述运送容器的重量即最大重量轻。

3.如权利要求1或2所述的物品保管设备的检查装置，其特征在于，

所述检查装置的重量是所述运送容器为空的状态的所述运送容器的重量即最小重量以下。

4.如权利要求1或2所述的物品保管设备的检查装置，其特征在于，

所述检查装置包括支撑重量调整用配重的配重支撑部。

5.如权利要求4所述的物品保管设备的检查装置，其特征在于，

所述配重支撑部配置有多个，配置在与所述检查装置的沿着水平面的方向的所述重心位置不同的位置。