[发明专利]物品保管设备的检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及具有对运送容器进行载置支撑的载置支撑部的物品保管设备所使用的检查装置，检查被载置支撑部支撑的状态下的惰性气体的供给状态，其中，所述运送容器在底部形成有惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳基板。

背景技术

半导体元件一般在净化了内部气氛的无尘室内制造。在保管成为半导体元件的材料的半导体晶片、半导体元件的制造工序间的运送时，需要保护半导体晶片免受尘埃等杂质的附着、化学反应所导致的污损。日本特开2008-159734号公报(专利文献1)公开了用于保管半导体晶片的这样的保管设备。该保管设备具有保管架而构成，该保管架包括多个收纳部，多个收纳部收纳对半导体晶片进行容纳的前开式标准容器(FOUP, Front Opening Unified Pod)等气密性的运送容器。另外，该保管设备为了防止容纳在运送容器的半导体晶片的自然氧化等所导致的污损，具有将氮、氩等惰性气体供给至运送容器的换气功能而构成。

容纳半导体晶片的运送容器(收纳用前开式标准容器)包括成为壳体的盖和底面部，由这些形成密闭空间。在密闭空间，能沿着高度方向容纳多片多个半导体晶片。在底面部的下表面形成成为气体的流入口和流出口的凹部，该凹部被构成为能与供给惰性气体的换气单元的配管接合。通过将运送容器载置在换气单元上，从而凹部与配管接合，能够向该运送容器进行惰性气体的供给。此处，为了确认是否对运送容器适当供给惰性气体，有的情况下测定该惰性气体的流量。在专利文献1中，为了测定惰性气体的流量，利用检查装置(测定用前开式标准容器)。在检查装置(测定用前开式标准容器)的底面，通过在换气单元载置检查装置，从而形成能与换气单元的配管接合的流入口和流出口。检查装置包括流量计，通过将检查装置不载置在运送容器而是载置在换气单元，能够测定惰性气体的流量(专利文献1第32-36段等)。

用于解决问题的方案

如上所述，运送容器、检查装置的流入口、流出口与换气单元的配管由于运送容器、检查装置的自重而接合。即，接合的强度根据运送容器、检查装置的质量、重心位置而变动。运送容器的质量、重心位置根据容纳在内部的半导体晶片的数量而变动。例如，在容纳的半导体晶片的数量少的情况下，运送容器变轻，在其重量比检查装置轻的情况下，与检查装置相比，接合的强度相对变弱。另外，由于重心位置的变动，有的情况下接合力会变弱或变强。在接合力弱的情况下，换气单元与运送容器、检查装置之间有可能产生气体泄漏，但在运送容器与检查装置的接合力之差大的情况下，不能考虑这样的气体泄漏，流量的测定精度有可能下降。

因此，期望实现提供一种能高精度地测定向运送容器供给的惰性气体的流量的技术。

本发明所涉及的物品保管设备的检查装置中，

所述物品保管设备包括：

多个收纳部，具有对运送容器进行载置支撑的载置支撑部，能将所述运送容器在被所述载置支撑部支撑的状态下收纳，所述运送容器在底部形成有惰性气体的给气口并在密闭状态下容纳预先规定的片数以内的基板；

惰性气体供给部，具有供给喷嘴，所述供给喷嘴是配设在所述载置支撑部的喷嘴，所述喷嘴由于被所述载置支撑部支撑的所述运送容器的自重而与所述给气口接合，向该运送容器的内部注入所述惰性气体，

所述物品保管设备的检查装置在被所述载置支撑部支撑的状态下，检查由所述惰性气体供给部进行的所述惰性气体的供给状态，

包括由于被所述载置支撑部支撑的所述检查装置的自重而与所述供给喷嘴接合的检查用给气口，

此处，所述检查装置在被所述载置支撑部支撑的状态下的所述检查装置的沿着水平面的方向的重心位置与所述运送容器被所述载置支撑部支撑的状态下的所述运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致。

根据上述构成，给气口与供给喷嘴的接合通过被载置支撑部支撑的状态下的运送容器的自重实现，检查用给气口与供给喷嘴的接合通过被载置支撑部支撑的状态下的检查装置的自重实现。通过被该载置支撑部支撑的状态下的检查装置的沿着水平面的方向的重心位置与被该载置支撑部支撑的状态下的运送容器的沿着水平面的方向的重心位置一致，至少能够再现与运送容器的重量与检查装置的重量的比率相应的接合力。例如，即使在多个部位包括供给喷嘴的情况下，也能够抑制由于重心位置的差异(偏心)导致的接合力的偏差，能够提高检查精度。即，根据本构成，能够实现提供一种能高精度地测定向运送容器供给的惰性气体的流量的技术。

下面，说明本发明的优选实施方式的例子。