[发明专利]一种膜层去除装置

权利要求书

1.一种膜层去除装置，其特征在于，包括：

底座；

载台，所述载台背离所述底座的一面为承载面；所述载台安装于所述底座，所述承载面的第一侧边和第二侧边相对且平行，所述第一侧边与所述底座朝向所述载台的侧面平行，且沿所述第一侧边朝向第二侧边的方向，所述承载面与所述底座之间的距离增大；

第一挡板，所述第一挡板安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座的一侧；所述第一挡板具有：

密封面，当所述承载面上放置有待处理基板时，所述密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；

缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，所述缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向所述承载面的第一侧边的汇流槽；所述缺槽的内壁中具有朝向所述第一侧边的挡面，所述挡面与所述密封面相连、且形成所述汇流槽的底面；

所述第一挡板内部形成多个导液孔，每一个所述导液孔的一端开口位于所述第一挡板背离所述载台的侧面上，另一端开口位于所述缺槽的内壁。

2.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述第一挡板安装于所述载台，包括：

所述载台设有沿垂直于所述第一侧边方向延伸的滑道，所述第一挡板通过锁紧机构可沿所述滑道的延伸方向滑动地安装于所述滑道。

3.根据权利要求2所述的膜层去除装置，其特征在于，所述滑道为贯穿所述载台厚度方向的滑道孔。

4.根据权利要求3所述的膜层去除装置，其特征在于，所述锁紧机构为锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的螺杆贯穿所述滑道孔与所述第一挡板螺纹配合，且所述锁紧螺钉的螺帽朝向所述载台的一面与所述载台背离所述承载面的一侧表面相抵。

5.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述载台的承载面上形成沿垂直于所述承载面的第一侧边的方向排列的多个刻度以形成第一刻度尺。

6.根据权利要求5所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于第一档板上的第二刻度尺，所述第二刻度尺与所述第一刻度尺配合形成游标卡尺结构，且所述第二刻度尺上的零刻度线在所述承载面上的投影与所述挡面在所述承载面上的投影在一条直线上。

7.根据权利要求6所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于所述第一挡板、以阅读所述第二刻度尺与所述第一刻度尺刻度对齐状态的显微镜。

8.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述导液孔为锥形通孔，所述锥形通孔的轴心线垂直于所述载台的承载面所在的平面；且从所述第一挡板背离所述载台的侧面的开口到所述缺槽内壁的开口方向，所述锥形通孔的孔径逐渐减小。

9.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，

所述承载面的第一侧边通过枢转轴枢装于所述底座，所述枢转轴的轴心线与所述第一侧边平行；且所述底座以及所述载台之间连接有升降装置以驱动所述载台绕所述枢转轴旋转。

10.根据权利要求1～9任一项所述的膜层去除装置，其特征在于，还包括：

安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座一侧的第二挡板；所述第二档板朝向所述第一档板的侧面与所述第一档板的挡面平行，且所述第二档板位于所述第一档板朝向所述承载面的第一侧边的一侧。