[发明专利]一种膜层去除装置

说明书

技术领域

本发明涉及膜厚测试技术领域，尤其是涉及一种膜层去除装置。

背景技术

台阶仪测试液晶取向层PI膜厚过程中需将一部分PI去除，根据同层膜厚的段差来确定膜层厚度。在样品制作工程中由于不能精确控制刻蚀位置，去除膜层的位置没有明显的边界，造成设备不能准确测试出膜层厚度。

发明内容

本发明提供了一种膜层去除装置，该膜层去除装置可以使膜层部分去除后有明显的边界，从而提高膜层厚度测试的准确性。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种膜层去除装置，包括：

底座；

载台，所述载台背离所述底座的一面为承载面；所述载台安装于所述底座，所述承载面的第一侧边和第二侧边相对且平行，所述第一侧边与所述底座朝向所述载台的侧面平行，且沿所述第一侧边朝向第二侧边的方向，所述承载面与所述底座之间的距离增大；

第一挡板，所述第一挡板安装于所述载台、且位于所述载台背离所述底座的一侧；所述第一挡板具有：

密封面，当所述承载面上放置有待处理基板时，所述密封面与待处理基板背离载台的一面密封配合；

缺槽，当承载面上放置有待处理基板时，所述缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向所述承载面的第一侧边的汇流槽；所述缺槽的内壁中具有朝向所述第一侧边的挡面，所述挡面与所述密封面相连、且形成所述汇流槽的底面；

所述第一挡板内部形成多个导液孔，每一个所述导液孔的一端开口位于所述第一挡板背离所述载台的侧面上，另一端开口位于所述缺槽的内壁。

当采用此膜层去除装置去除膜层时，首先，将待处理基板平放于载台上，第一档板的密封面与基板背离载台的一面密封配合；缺槽的各个侧壁与待处理基板背离载台的一面配合形成开口朝向承载面的第一侧边的汇流槽；缺槽的内壁中具有朝向承载面的第一侧边的挡面。当将刻蚀液从导液孔位于第一挡板背离载台的侧面上的开口导入，刻蚀液可以从导液孔位于缺槽内壁的另一端开口流出，并且在汇流槽中汇流；由于沿第一侧边朝向第二侧边的方向，承载面与底座之间的距离增大，即承载面沿其第一侧边朝向第二侧边的方向逐渐升高，所以，汇流槽中的刻蚀液自挡面开始向挡面所朝向的承载台的第一侧边流动，从而实现对其所经过处的基板的膜层进行去除，此时，膜层去除的部分在挡面处会有明显的去除边界，所以在根据膜层段差来确定膜层厚度时，测试出的膜层厚度会更准确。

较佳的实施例中，

所述第一挡板安装于所述载台，包括：

所述载台设有沿垂直于所述第一侧边方向延伸的滑道，所述第一挡板通过锁紧机构可沿所述滑道的延伸方向滑动地安装于所述滑道。

较佳的实施例中，

所述滑道为贯穿所述载台厚度方向的滑道孔。

较佳的实施例中，

所述锁紧机构为锁紧螺钉，所述锁紧螺钉的螺杆贯穿所述滑道孔与所述第一挡板螺纹配合，且所述锁紧螺钉的螺帽朝向所述载台的一面与所述载台背离所述承载面的一侧表面相抵。

较佳的实施例中，

所述载台的承载面上形成沿垂直于所述承载面的第一侧边的方向排列的多个刻度以形成第一刻度尺。

较佳的实施例中，所述膜层去除装置还包括：

安装于第一档板上的第二刻度尺，所述第二刻度尺与所述第一刻度尺配合形成游标卡尺结构，且所述第二刻度尺上的零刻度线在所述承载面上的投影与所述挡面在所述承载面上的投影在一条直线上。由此可以得出，挡面与待处理基板背离载台的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上。

较佳的实施例中，所述膜层去除装置还包括：

安装于所述第一挡板、以阅读所述第二刻度尺与所述第一刻度尺刻度对齐状态的显微镜。

通过显微镜观察第二刻度尺与第一刻度尺刻度对齐状态来得出游标卡尺的读数，由于挡面与待处理基板背离载台的表面的交线在承载面上的投影与第二刻度尺上的零刻度线在承载面上的投影在一条直线上，则可以得到挡面与待处理基板背离载台的表面的交线的位置，即去除膜层的起始位置，从而可以实现对去除膜层的起始位置的精确控制和定位。

较佳的实施例中，

所述导液孔为锥形通孔，所述锥形通孔的轴心线垂直于所述载台的承载面所在的平面；且从所述第一挡板背离所述载台的侧面的开口到所述缺槽内壁的开口方向，所述锥形通孔的孔径逐渐减小。

较佳的实施例中，