[发明专利]一种单晶硅切削液在审
| 申请号： | 201410292247.5 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104046497A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 薛静 | 申请（专利权）人： | 青岛扎西生物科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 切削 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份数的原料制成：
二乙二醇25-40份，PEG5-13份，三乙醇胺10-17份，癸二酸2.5-8份，三乙胺2.5-4份，氯化钠3.5-9份，木质素磺酸盐3-5份，水50份。
2.根据权利要求1所述的单晶硅切削液，其特征在于：其由以下重量份数的原料制成：
二乙二醇32份，PEG7份，三乙醇胺13份，癸二酸5.5份，三乙胺3.2份，氯化钠6份，木质素磺酸盐4份，水50份。
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