[发明专利]一种芯片背面裸露的扇出型封装结构及制造方法在审

专利信息
申请号: 201410292957.8 申请日: 2014-06-25
公开(公告)号: CN104241217A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 于中尧 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/98
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 刘杰
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 背面 裸露 扇出型 封装 结构 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片背面裸露的扇出型封装结构,其特征在于,所述结构包括:

芯片;

再布线层,所述芯片设置在所述再布线层的第一面上,其中所述芯片距离所述再布线层具有第一距离;

限高块,所述限高块设置在所述再布线层的第一面上,其中所述限高块距离所述再布线层具有第二距离;

凸点,所述凸点设置在所述再布线层的第二面上,其中所述第一面与所述第二面为相反的面;

其中,所述再布线层、所述限高块、所述芯片构成了第一空间,且所述第一空间内填充树脂;

其中,所述第二距离等于所述第一距离。

2.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述再布线层具体为一层结构或者多层结构。

3.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述芯片还包括:

所述再布线层包括绝缘层和线路层。

4.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述结构还包括:

金属散热件,所述金属散热件键合在所述芯片背面。

5.一种芯片背面裸露的扇出型封装结构的制造方法,其特征在于,所述方法包括:

将芯片和限高块贴在承载板的临时键合胶表面;

将塑封板覆盖在芯片和限高块上;

将树脂填充到第一空间内,并固化形成整体结构;

去掉所述塑封板;

去掉承载板和临时键合胶;

制作再布线层。

6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

植入凸点。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

切割形成扇出封装结构。

8.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

采用流动性好的液体树脂在低温填充的方式填充树脂,然后固化。

9.如权利要求5所述的方法,其特征在于,在所述将塑封板覆盖在芯片和限高块上之后,还包括:

采用高温下流动性好的树脂进行树脂的填充灌封,然后固化。

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