[发明专利]一种芯片背面裸露的扇出型封装结构及制造方法在审
申请号: | 201410292957.8 | 申请日: | 2014-06-25 |
公开(公告)号: | CN104241217A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 于中尧 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/98 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 背面 裸露 扇出型 封装 结构 制造 方法 | ||
1.一种芯片背面裸露的扇出型封装结构,其特征在于,所述结构包括:
芯片;
再布线层,所述芯片设置在所述再布线层的第一面上,其中所述芯片距离所述再布线层具有第一距离;
限高块,所述限高块设置在所述再布线层的第一面上,其中所述限高块距离所述再布线层具有第二距离;
凸点,所述凸点设置在所述再布线层的第二面上,其中所述第一面与所述第二面为相反的面;
其中,所述再布线层、所述限高块、所述芯片构成了第一空间,且所述第一空间内填充树脂;
其中,所述第二距离等于所述第一距离。
2.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述再布线层具体为一层结构或者多层结构。
3.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述芯片还包括:
所述再布线层包括绝缘层和线路层。
4.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述结构还包括:
金属散热件,所述金属散热件键合在所述芯片背面。
5.一种芯片背面裸露的扇出型封装结构的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
将芯片和限高块贴在承载板的临时键合胶表面;
将塑封板覆盖在芯片和限高块上;
将树脂填充到第一空间内,并固化形成整体结构;
去掉所述塑封板;
去掉承载板和临时键合胶;
制作再布线层。
6.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
植入凸点。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
切割形成扇出封装结构。
8.如权利要求5所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
采用流动性好的液体树脂在低温填充的方式填充树脂,然后固化。
9.如权利要求5所述的方法,其特征在于,在所述将塑封板覆盖在芯片和限高块上之后,还包括:
采用高温下流动性好的树脂进行树脂的填充灌封,然后固化。
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