[发明专利]一种倒装芯片塑封结构及制造方法在审
申请号: | 201410292980.7 | 申请日: | 2014-06-25 |
公开(公告)号: | CN104241499A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 于中尧;郭学平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 倒装 芯片 塑封 结构 制造 方法 | ||
1.一种倒装芯片塑封结构,其特征在于,所述结构包括:
芯片;
基板,所述基板的第一面上设置所述芯片,其中所述芯片距离所述基板具有第一距离;
限高块,所述限高块设置于所述基板的第一面上,其中所述限高块距离基板具有第二距离,其中,所述第一距离小于第二距离;
所述塑封结构中填充的树脂的高度与限高块相同。
2.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述结构还包括:
凸点,所述凸点设置于所述基板的第二面,且所述第一面和第二面为相反的面。
3.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述结构还包括:
底涂材料,所述底涂材料设置于所述基板与所述芯片之间。
4.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述塑封板为聚四氟乙烯板,或者表面涂有聚四氟乙烯的金属板。
5.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述塑封树脂为底涂材料或者为同时能够完成底涂和塑封的MUF树脂。
6.一种倒装芯片塑封结构的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
将所述芯片倒装焊接到所述基板的第一面;
在所述芯片的凸点处填充底涂材料;
在所述基板的第一面贴所述限高块;
在所述基板的第一面上填充树脂,将塑封板压在树脂的表面,并排掉树脂中的气泡,固化;
去除所述塑封板。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
采用流动性好的液体树脂在低温填充的方式填充树脂,然后固化。
8.如权利要求6所述的方法,其特征在于,在所述基板的第一面贴所述限高块之后,还包括:
采用高温下流动性好的树脂进行树脂的填充灌封,然后固化。
9.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
所述芯片和所述限高块通过贴片的方式粘贴在所述基板的第一面。
10.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
在所述基板的第二面植球,形成凸点。
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