[发明专利]胶头和胶管一体化运动结构有效
申请号: | 201410294868.7 | 申请日: | 2014-06-25 |
公开(公告)号: | CN105319855B | 公开(公告)日: | 2020-02-07 |
发明(设计)人: | 王阳;胡延兵 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 21002 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人: | 何丽英 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 胶管 一体化 运动 结构 | ||
1.一种胶头和胶管一体化运动结构,其特征在于:所述结构设置于涂胶单元内部,包括执行机构(3)、胶管(4)、胶头(5)及托架结构,其中执行机构(3)设置于胶杯(7)的一侧,所述托架结构连接于执行机构(3)上、并通过执行机构(3)的驱动作直线运动,所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管(4);
所述托架结构包括胶管托架(1)、总体托架(2)及胶头托架(6),其中总体托架(2)连接于执行机构(3)上,所述胶管托架(1)和胶头托架(6)设置于总体托架(2)上;
所述胶头托架(6)上设有多个与各胶管(4)相对应的胶头(5),各胶管(4)的一端与所述胶管托架(1)连接,另一端与其相对应的胶头(5)连接,所述托架结构通过执行机构(3)的驱动,带动胶管(4)和胶头(5)一起沿平行于胶管(4)排列方向移动;
在需要不同的光刻胶进行匀胶工作时,所需要的胶头(5)和胶管(4)在执行机构(3)的带动下运动到二者连线通过胶杯(7)圆心的位置。
2.按权利要求1所述的胶头和胶管一体化运动结构,其特征在于:所述各胶管(4)均为倒置U形结构。
3.按权利要求1所述的胶头和胶管一体化运动结构,其特征在于:所述胶头(5)的排列方向与托架结构的运动方向平行。
4.按权利要求1所述的胶头和胶管一体化运动结构,其特征在于:所述执行机构(3)包括架体、电机、滚珠丝杠及螺母,其中电机和滚珠丝杠设置于架体上、并电机的输出端与滚珠丝杠连接,所述螺母与滚珠丝杠连接,所述托架结构与螺母连接。
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