[发明专利]胶头和胶管一体化运动结构

说明书

本发明涉及半导体生产中的设备，具体地说是一种胶头和胶管一体化运动结构。所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构、胶管、胶头及托架结构，其中执行机构设置于胶杯的一侧，所述托架结构滑动连接于执行机构上，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管，所述托架结构上还设有多个与各胶管相对应的胶头，各胶管的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头连接，所述胶管托架带动胶管和胶头一起沿平行于胶管排列方向移动。本发明实现多个胶头更换，防止胶管互相干涉，提高设备稳定性。

技术领域

本发明涉及半导体生产中的设备，具体地说是一种胶头和胶管一体化运动结构。

背景技术

在半导体晶圆生产中的匀胶显影设备内部，涂胶胶头的固定和胶管的固定是分离的，通常是胶头放在移动的平台上，胶管根部固定在固定的平台上。在更换胶头的过程中，胶头移动，胶管的固定部分不移动，这种情况下，会造成胶管发生扭转，胶管和胶管之间发生干涉，进而产生摩擦，造成胶管破损，既不利于设备稳定运行，也会因为胶管的摩擦产生粉尘颗粒，这些颗粒会导致半导体生产的良率下降。

为解决上诉问题，需要一种新型的胶头和胶管的分布结构和一种新型的运动方式，避免由于胶管之间的干涉和摩擦产生的问题。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的在于提供一种胶头和胶管一体化运动结构，该结构位于半导体生产中涂胶单元内部，通过这样的结构避免胶管的互相干涉和摩擦。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种胶头和胶管一体化运动结构，所述结构设置于涂胶单元内部，包括执行机构、胶管、胶头及托架结构，其中执行机构设置于胶杯的一侧，所述托架结构连接于执行机构上、并通过执行机构的驱动作直线运动，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管，所述托架结构上还设有多个与各胶管相对应的胶头，各胶管的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头连接，所述托架结构通过执行机构的驱动，带动胶管和胶头一起沿平行于胶管排列方向移动。

所述托架结构包括胶管托架、总体托架及胶头托架，其中总体托架连接于执行机构上，所述胶管托架和胶头托架设置于总体托架上，所述胶管的一端与胶管托架连接，所述胶头设置于胶头托架上。

所述各胶管均为倒置U形结构。所述胶头的排列方向与托架结构的运动方向平行。所述执行机构包括架体、电机、滚珠丝杠及螺母，其中电机和滚珠丝杠设置于架体上、并电机的输出端与滚珠丝杠连接，所述螺母与滚珠丝杠连接，所述托架结构与螺母连接。

本发明的优点及有益效果是：

本结构是在匀胶显影设备中涂胶单元内部，是多个光刻胶胶头更换的一种结构，应用这种一体化运动结构，可以实现多个胶头更换，防止胶管互相干涉，提高设备稳定性。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明一端极限位置的俯视示意图；

图3为本发明另一端极限位置的俯视示意图。

其中：1为胶管托架，2为总体托架，3为执行机构，4为胶管，5为胶头，6为胶头托架，7为胶杯，8为胶杯中心点。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。

如图1所示，本发明设置于涂胶单元内部，包括执行机构3、胶管4、胶头5及托架结构，其中执行机构3设置于胶杯7的一侧，所述托架结构连接于执行机构3上，所述托架结构上沿运动方向依次布设有多个胶管4。所述托架结构上还设有多个与各胶管4相对应的胶头5，各胶管4的一端与托架结构连接，另一端与其相对应的胶头5连接。所述托架结构带动胶管4和胶头5一起沿平行于胶管4排列方向移动。