[发明专利]磁传感器有效
申请号: | 201410300893.1 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN105223523B | 公开(公告)日: | 2018-04-27 |
发明(设计)人: | 森大辅;冈部修二 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | G01R33/09 | 分类号: | G01R33/09 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 张玉玲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传感器 | ||
1.一种磁传感器,其具备彼此电连接而构成桥接电路的多个磁阻元件,其中,
所述多个磁阻元件包含多个第一磁阻元件以及多个第二磁阻元件,
所述多个第一磁阻元件各自的阻值变化率大于所述多个第二磁阻元件各自的阻值变化率,
所述多个第一磁阻元件在俯视下分别具有双重旋涡状图案,
所述双重旋涡状图案包含一方的旋涡状图案、另一方的旋涡状图案以及将该一方的旋涡状图案与该另一方的旋涡状图案在该双重旋涡状图案的中央部处连结的S字状图案或者反S字状图案,
所述多个第一磁阻元件各自的所述双重旋涡状图案在周向上的朝向不同,使得所述S字状图案或者所述反S字状图案的朝向彼此不同,
所述双重旋涡状图案具有关于该双重旋涡状图案的中心点大致点对称的形状。
2.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,
该磁传感器作为所述多个第一磁阻元件而包含两个第一磁阻元件,
所述两个第一磁阻元件各自的所述双重旋涡状图案在周向上的朝向相差90°,使得所述S字状图案或者所述反S字状图案的朝向彼此相差90°。
3.根据权利要求1或2所述的磁传感器,其中,
所述双重旋涡状图案在所述一方的旋涡状图案以及所述另一方的旋涡状图案各自的外周部具有该双重旋涡状图案的长度调整用冗长部,
所述长度调整用冗长部通过所述一方的旋涡状图案以及所述另一方的旋涡状图案各自弯曲且折回而构成,
在所述一方的旋涡状图案上设置的所述长度调整用冗长部与在所述另一方的旋涡状图案上设置的所述长度调整用冗长部在所述双重旋涡状图案的径向上彼此位于相反侧。
4.根据权利要求1所述的磁传感器,其中,
所述多个第二磁阻元件分别包含具有多个曲部且折回的至少一个单位图案,
所述单位图案不包含10μm以上长度的直线状延伸部。
5.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,
所述单位图案在所述多个曲部处分别折曲。
6.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,
所述单位图案在所述多个曲部处分别弯曲。
7.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,
所述多个第二磁阻元件分别包含多个所述单位图案,
所述多个单位图案配置在假想圆上且彼此连接。
8.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,
所述多个第二磁阻元件分别包含多个所述单位图案,
所述多个单位图案配置在假想多边形上且彼此连接。
9.根据权利要求4所述的磁传感器,其中,
所述多个第二磁阻元件分别包含多个所述单位图案,
所述多个单位图案配置在假想直线上且彼此连接。
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