[发明专利]不锈钢芯片激光切割设备有效
申请号: | 201410300913.5 | 申请日: | 2014-06-26 |
公开(公告)号: | CN104084697A | 公开(公告)日: | 2014-10-08 |
发明(设计)人: | 张德龙;吴玉彬;黄波;王忠生;刘轩;郑福志;田玉鑫;金钊;张男男 | 申请(专利权)人: | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/70 |
代理公司: | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033 吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 不锈钢 芯片 激光 切割 设备 | ||
技术领域
本发明涉及一种不锈钢芯片激光切割设备。
背景技术
激光切割是一门发展极快的新技术,已成为发展新兴产业,改造传统制造业的关键技术之一。激光切割以其切割范围广、切割速度高、切缝窄、切割质量好、热影响区小、加工柔性大等优点,在现代工业中等到了极为广泛的应用,激光切割技术也成为激光加工技术最为成熟的技术之一,随着激光加工技术的不断发展,激光加工除了在传统行业应用之外,越来越多的应用到更为广阔的精细加工领域,如军工领域、电子产品加工领域、半导体加工领域等,这些领域对激光切割设备提出了更高的要求。
对于传统的硅芯片,采用砂轮划片工艺进行切割。随着全球经济技术和科学技术的不断发展,各类电子产品的制造成本越来越低,价格成为影响电子产品广泛应用的一个重要因素。尤其对于电子标签来说,相对其它识别技术,电子标签具有很大的优越性,有着非常广阔的应用前景,但影响电子标签使用的主要原因之一为标签的成本。作为降低电子标签成本的方法之一,将传统的硅芯片改为不锈钢芯片,可有效地降低电子标签的制作成本,但对切割工艺提出了很高的要求。
不锈钢芯片无法采用砂轮划片的工艺进行切割,不锈钢芯片要求完全切透芯片,砂轮划片不能切透不锈钢芯片,切透后芯片会飞掉,不满足要求。目前市场出现采用UV激光器切割的工艺方式,这种方式先贴膜,再切割,切割质量可以满足使用要求。但这种切割方式设备庞大,效率很低,维护成本很高,很难满足大批量生产的要求。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种不锈钢芯片激光切割设备,该设备集成度高,生产效率高,切割质量好,可以很好的满足大批量生产不锈钢芯片的要求。
为了解决上述技术问题,本发明的不锈钢芯片激光切割设备包括平台基座、上料平台装置、初定位相机、上料基座、上料机械手、精定位相机、吸附平台、激光器切割系统,贴膜装置;所述上料平台装置通过Y向直线运动机构安装在平台基座上,可在平台基座上作Y向直线运动;初定位相机安装固定于上料平台装置的上方;上料基座固定在平台基座上,上料机械手安装在上料基座上,可在上料基座上作X向和Z向直线运动;精定位相机安装于吸附平台的上方;吸附平台通过X向直线运动机构、Y向直线运动机构和旋转运动机构安装在平台基座上,可在平台基座作X向、Z向直线运动和旋转运动;激光器切割系统和贴膜装置固定在平台基座上,激光器切割系统的激光切割头位于吸附平台的上方。
在使用激光切割不锈钢芯片前,首先将不锈钢基片按一定方向放置在上料平台装置上,由初定位相机采集不锈钢基片图像并将其传送到计算机,计算机计算不锈钢基片上的识别点与相机中心点的Y向位置偏差和X向位置偏差,根据Y向位置偏差控制上料平台装置Y向运动,将不锈钢基片的识别点Y向运动到初定位相机的中心,同时记录不锈钢基片上的识别点与相机中心点的X向位置偏差数据,完成初定位。初定位完成后,上料机械手X向运动到设定的零位,此时上料机械手位于上料平台装置的上方。计算机根据记录的不锈钢基片上的识别点与相机中心点的X向位置偏差调整上料机械手X向位置,将不锈钢基片的识别点X向运动到初定位相机的中心。上料机械手向下运动拾取不锈钢基片后向上运动,再向X方向运动到限位位置(该限位位置也是吸附平台的零位),将不锈钢基片放置到吸附平台上。吸附平台X向运动到精定位相机的下方(设定的定位位置)后,精定位相机对不锈钢基片的识别点进行精确定位,通过计算机计算识别点与精定位相机中心的偏差,包括X向偏差、Y向偏差和角度偏差,将数据传给吸附平台X向运动机构、吸附平台Y向运动机构和吸附平台旋转运动机构,吸附平台三个运动机构根据接收的数据自动调整位置,并运动到不锈钢基片下方,此时,吸附平台的X向、Y向和θ向位置均为准确位置,上料机械手Z向运动机械向下运动,将不锈钢基片放置到吸附平台上,同时,吸附平台将不锈钢基片吸附在平台上,完成不锈钢基片的上料自动对位功能。自动对位后,打开激光切割系统,激光切割头发射激光,通过控制吸附平台X向、Y向移动和θ向转动,可以实现不锈钢芯片横向、纵向的切割。切割工作完成后得到多个不锈钢芯片,切割后的芯片仍然被吸附在吸附平台上不会散落;此时利用贴膜装置将胶膜粘贴在吸附平台上,从而将各不锈钢芯片粘贴在同一块胶膜上。
所述上料平台装置包括支架,上料平台,X向限位块,Y向限位块;支架通过Y向直线运动机构安装在平台基座上,可在平台基座上作Y向直线运动;上料平台固定在支架上,其X向的一个边上安装X向限位块,Y向的一个边上安装Y向限位块。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司,未经长春光华微电子设备工程中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410300913.5/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。