[发明专利]物件检测方法及装置

说明书

技术领域

本发明系有关于一种检测方法及装置，尤指一种用以在具反射表面的物件上进行检测的物件检测方法及装置。

背景技术

一般的电子组件由于体积微小，若发生瑕疵则检查上相当困难，因此在高科技产业中惯用CCD镜头来作检测，一方面将瑕疵部位放大，另一方面藉由数字化的影像来检测其瑕疵部位的确实位置，以进行补救制程或淘汰程序。

一种以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵的方法曾被采用，其主要利用光栅所产生的网格变形，透过CCD镜头来检出瑕疵的部位确实位置，在晶圆晶粒的瑕疵检测中亦曾采用此种检测方式，其通常于特定光源及角度下，经人工方式透过CCD镜头进行观察光栅因受瑕疵部位影响所产生的网格变形状态，来检出晶圆晶粒的瑕疵部位。

发明内容

然而以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵的方法固然为业界所惯用，惟先前技术在晶圆晶粒的瑕疵检测中采用此种方式检测常遭遇一些问题，因为晶圆晶粒表面具有极亮的光泽，加上晶圆晶粒表面的平整度，使晶圆晶粒表面纵有瑕疵裂痕，在特定光源及角度下，晶圆晶粒表面光泽的反射，将使CCD镜头受到表面光泽反射光源的干扰，而不易检测出瑕疵裂痕。

于是，本发明的目的，在于提供一种可依需要同时或切换不同检测单元对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测方法。

本发明的另一目的，在于提供一种可依需要同时或切换或不同检测装置单元对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测装置。

依据本发明目的的物件检测方法，包括：提供一第一检测单元及一第二检测单元，使其以不同焦距共同经由一第一分光镜分别撷取检测物表面影像；提供一具网格的光栅，位于一第二分光镜一侧；其特征在于：该第一检测单元及一第二检测单元各经由一第一检测光路、一第二检测光路分别撷取检测物表面影像；该第一检测光路由位于第二分光镜与检测物表面间的一第一光源直接投射检测物表面而形成，该第二检测光路由一第二光源先投射该具网格的光栅再经第二分光镜折射于检测物表面形成；该第一检测光路与第二检测光路二者可经切换而由第一检测单元经由第一检测光路撷取无网格影像，或由第二检测单元经由第二检测光路撷取具网格影像。

依据本发明另一目的的物件检测装置，包括：一第一检测单元，具有第一焦距，用以撷取检测物表面影像；一第一分光镜，其设于第一检测单元与检测物连成之轴向上；一第二检测单元，具有第二焦距，其对应该第一分光镜，以撷取第一分光镜折射之检测物表面影像；一第二分光镜，设于第一检测单元与检测物连成之轴向上；一具网格之光栅，位于第二分光镜一侧；其特征在于：该具网格之光栅与前述轴向平行；一第一光源，位于第二分光镜与检测物表面间，并设于第一检测单元与检测物连成之垂直轴向上；该第一光源以垂直方向直接朝检测物表面投射光源，而形成第一检测光路并为第一检测单元撷取无网格影像；一第二光源，位于相对于第二分光镜之光栅另一侧，以水平方向先朝向光栅投射光源再投射第二分光镜，而折射在检测物表面，而形成第二检测光路并为第二检测单元撷取具网格影像；该第一检测光路与第二检测光路可作切换由第一检测单元经由第一检测光路撷取无网格影像，或由第二检测单元经由第二检测光路撷取具网格影像。

依据本发明另一目的的另一物件检测装置，包括：一第一检测单元及一第二检测单元，分别各以不同焦距共同经由一第一分光镜分别撷取检测物表面影像；一具网格的光栅，位于一第二分光镜一侧；其特征在于：一第一检测光路，由位于第二分光镜与检测物表面间的一第一光源直接投射检测物表面而形成；一第二检测光路，由一第二光源先投射该具网格的光栅再经一第二分光镜折射于检测物表面形成；该第一检测光路与第二检测光路二者经切换而由第一检测单元经由第一检测光路撷取无网格影像，或由第二检测单元经由第二检测光路撷取具网格影像。

本发明实施例的物件检测方法及装置，其以具网格的光栅屏蔽置于第一光源前端，使其投射于检测物的检测面上，再藉由第二检测单元的CCD镜头架构正确的焦距，清楚观测检测物表面网格变化，并标示瑕疵位置以屏幕用图像显示；其于检测物原第一检测单元的CCD镜头检测目所需光学机构上，再架构第二组具部份同光路的感测系统，以同时取得不受光源反射干扰而清楚表现检测物表面细微瑕疵裂痕的网格影像，用户不仅可以第一检测单元观测检测物表面影像，亦可同时或切换以第二检测单元作排除光源反射干扰的表面细微瑕疵凹痕、裂痕检查，不仅可提升检测速度，亦可达到精确检测的目的。

附图说明

图1系本发明实施例的机构配置示意图。

图2系本发明实施例中第一检测光路的形成路径示意图。