[发明专利]厚度测量方法有效
| 申请号： | 201410320417.6 | 申请日： | 2014-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104279969B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 金在完;金钟安;姜宙植;陈宗汉 | 申请（专利权）人： | 韩国标准科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;曹正建 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光束 透明基板 厚度测量 波长 厚度测量装置 激光束照射 相邻光线 测量 激光器 内反射 相位差 利萨如图形 处理单元 光检测器 光耦合器 预定条件 旋转角 | ||
1.一种厚度测量方法，其包括以下步骤：
测量透过透明基板的第一位置的第一波长的第一透过光束的强度；
在精细度系数小于1的条件下使用泰勒级数展开式展开艾里函数，以将作为艾里函数而被给出的透过所述透明基板的所述第一波长的所述第一透过光束显示为如下相位差的余弦函数：该相位差是由通过所述透明基板的多次内反射而透过的相邻光线之间的光程长度而导致的；
选择第二波长以将所述余弦函数变换成正弦函数；
测量透过所述透明基板的所述第一位置的具有第二波长的第二透过光束的强度；
处理所述第一透过光束的强度和所述第二透过光束的强度以提取利萨如图形上的旋转角；并且
使用所述旋转角计算所述透明基板的厚度。
2.根据权利要求1所述的厚度测量方法，还包括：
改变所述透明基板的测量位置。
3.根据权利要求1所述的厚度测量方法，还包括：
去除所述旋转角的非线性误差。
4.一种厚度测量方法，其包括以下步骤：
准备透过透明基板的第一位置的第一波长的第一透过光束的第一测量信号；
在透过所述透明基板的所述第一波长的所述第一透过光束被给出为艾里函数并且精细度系数小于1的条件下使用泰勒级数展开式展开艾里函数，以将所述第一透过光束显示为如下相位差的余弦函数：该相位差是由通过所述透明基板的多次内反射而透过的相邻光线之间的光程长度而导致的；
选择第二波长以将所述余弦函数变换成正弦函数；
准备透过所述透明基板的所述第一位置的第二波长的第二透过光束的第二测量信号；
处理所述第一测量信号和所述第二测量信号以提取利萨如图形上的旋转角；并且
使用所述旋转角计算所述透明基板的厚度。
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