[发明专利]吸附结构、机器人手及机器人

说明书

技术领域

本文公开的实施方式涉及一种吸附结构、机器人手及机器人。

背景技术

在相关技术中，已知搬运例如晶片或玻璃基板的薄基板的基板搬运机器人(例如，参照日本专利申请公开No.2008-28134)。

机器人包括例如臂部和安装在臂部的末端部的机器人手(以下，称作“手部”)。机器人通过使手部保持基板同时使臂部在水平方向和其他方向上操作，来搬运基板。

在搬运基板的过程中，需要可靠地保持基板并防止基板的位置移动。因此，提出一种机器人，其包括具有使用真空吸盘等的吸附结构的手部，所述机器人通过使吸附结构吸附基板，从而在基板的搬运过程中保持基板。

如果在半导体制造工序中使用机器人，则基板经历诸如成膜处理等的热处理工序，因此机器人经常搬运在热处理工序中被加热到高温的基板。

然而，在上述的相关技术中，在可靠地吸附卷曲的基板方面，存在进一步改善的余地。

更具体地，有时存在基板在经历上述的热处理工序之后在热的影响下发生卷曲的情况。该情况下，在真空吸盘的表面与基板的表面之间产生间隙。存在不能对基板进行真空吸附并将基板固定这样的问题。

该问题是由于基板的厚度减小或尺寸增大、由于基板的材质或者由于在处理工序中基板的状态变化、例如上述的热或成膜的影响而有可能发生的共同的问题。

发明内容

鉴于上述的情况，本文公开的实施方式提出一种能够可靠地吸附卷曲的基板的吸附结构、机器人手及机器人。

根据实施方式的一个方面，提供一种包括固定基部、吸盘以及密封部件的吸附结构。吸盘包括：与将被吸附的目标物体进行接触的接触部；被所述接触部包围的空间；抽吸孔；以及一个或多个支承部，各支承部具有扭曲部。所述支承部将所述吸盘固定到所述固定基部，各支承部被设置在倾斜运动的轴线上。所述扭曲部支承所述接触部，使得所述接触部围绕轴线进行倾斜运动。所述密封部件被设置在所述吸盘与所述固定基部之间。所述抽吸孔使所述空间经由所述密封部件与真空源连通。

根据本文公开的实施方式的一个方面，能够可靠地吸附卷曲的基板。

附图说明

图1是根据实施方式的机器人的立体示意图。

图2是手部的俯视示意图。

图3A是吸盘的俯视示意图。

图3B是沿图3A的线IIIB-IIIB’剖开的剖视示意图。

图4A是示出吸盘被固定到固定基部之前吸盘的安装结构的剖视示意图。

图4B是示出吸盘被固定到固定基部之后吸盘的安装结构的剖视示意图。

图5A是示出吸盘的配置例的俯视示意图。

图5B是示出吸盘的运动的俯视示意图。

图6A是根据第一变形例的吸盘的俯视示意图。

图6B是沿图6A的线VIB-VIB剖开的剖视示意图。

图6C和图6D是示出根据第二变形例的吸盘的例子的俯视示意图。

图6E是沿图6D的线VIE-VIE剖开的剖视示意图。

具体实施方式

现在，将参照附图对吸附结构、机器人手以及机器人的实施方式进行详细说明。本发明不限于这些实施方式。

在下文中，将以机器人是将晶片作为目标物体进行搬运的基板搬送机器人的情况为例进行说明。晶片由附图标记“W”表示，在下面的说明中，将构成机械结构并且能够相对于彼此进行运动的各个刚性元件称作“连杆”。“连杆”有时也称作“臂部”。

首先，参照图1对根据第一实施方式的机器人1的结构进行说明。图1是根据该实施方式的机器人1的立体示意图。

为了容易理解，在图1中图示了包含将竖直向上作为正方向、将竖直向下作为负方向的Z轴的三维正交坐标系。因此，沿XY平面延伸的方向表示“水平方向”。该正交坐标系有时在以下的说明中所使用的其他的附图中也被示出。

在以下的说明中，为了便于说明，假设机器人1的摆动位置及其方向处于图1所示的状态，对机器人1的各部分之间的位置关系进行说明。

在以下的说明中，有时存在这样的情况，对于多个部件，对有些部件给出附图标记，对其他的部件没有给出任何附图标记。在该情况下，假设使用附图标记标注的一部分部件与其他的部件具有相同的结构。

如图1所示，机器人1包括基台2、升降单元3、和臂单元，所述臂单元具有第一关节单元4、第一臂部5、第二关节单元6、第二臂部7、第三关节单元8、以及手部10。