[发明专利]吸附结构、机器人手和机器人

说明书

技术领域

本文所公开的实施方式涉及吸附结构、机器人手和机器人。

背景技术

在相关技术中，已知搬运例如晶片或玻璃基板的薄基板的基板搬运机器人(例如，参照日本专利申请公开No.2008-28134)。

机器人包括例如臂部和安装在臂部的末端部的机器人手(以下，称作“手部”)。机器人通过使机器人手保持基板同时使臂部在水平方向和其他方向上操作，来搬运基板。

在搬运基板的过程中，需要可靠地保持基板并防止基板的位置移动。因此，提出一种机器人，其包括具有使用真空吸盘等的吸附结构的手部，所述机器人通过使吸附结构吸附基板，从而在基板的搬运过程中保持基板。

如果在半导体制造工序中使用机器人，则基板经历诸如成膜处理等的热处理工序，因此机器人经常搬运在热处理工序中被加热到高温的基板。

然而，在上述的相关技术中，在可靠地吸附卷曲的基板方面，存在进一步改善的余地。

更具体地，有时存在基板在经历上述的热处理工序之后在热的影响下发生卷曲的情况。在该情况下，在真空吸盘的表面与基板的表面之间产生间隙。存在不能对基板进行真空吸附并将基板固定这样的问题。

该问题是由于基板的厚度减小或尺寸增大、由于基板的材质或者由于在处理工序中基板的状态变化、例如上述的热或成膜的影响而有可能发生的共同的问题。

发明内容

鉴于上述情况，本文公开的实施方式提供一种能够可靠地吸附卷曲的基板的吸附结构、机器人手和机器人。

根据本发明的一方面的吸附结构包括吸盘和固定基座。所述吸盘包括：接触部，所述接触部具有密封壁并与将被吸附的目标物体接触；主表面部，所述主表面部被所述接触部包围，由于所述接触部与目标物体接触，所述主表面部与所述密封壁一起限定内部空间；以及薄壁部，所述薄壁部形成在所述主表面部中。所述固定基座包括抽吸孔，所述抽吸孔设置为使所述内部空间与真空源连通并支承所述吸盘。

根据本文公开的实施方式的一个方面，能够可靠地吸附卷曲的基板。

附图说明

图1是根据第一实施方式的机器人的立体示意图；

图2是根据第一实施方式的手部的俯视示意图；

图3A是示出根据第一实施方式的吸盘的配置例的俯视示意图；

图3B是根据第一实施方式的吸盘的俯视示意图；

图3C是沿着图3B中的线ⅢC-ⅢC剖开的剖视示意图；

图3D是示出槽的延伸方向的一例的俯视示意图；

图3E是图3C中示出的吸盘的变形例的剖视示意图；

图4A至4C是用于说明根据第一实施方式的吸盘的弯曲动作的示意图；

图5A是根据第一变形例的设置有槽的吸盘的俯视示意图；

图5B是示出槽的延伸方向的另一示例的俯视示意图；

图5C是根据第二变形例的设置有槽的吸盘的俯视示意图；

图6是根据第二实施方式的手部的俯视示意图；

图7A是根据第二实施方式的吸盘的俯视示意图；

图7B是沿着图7A中所示的线VIIB-VIIB剖开的剖视示意图；

图8A至8C是用于说明根据第二实施方式的吸盘的弯曲动作的示意图；

图9是根据第二实施方式的变形例的手部的俯视示意图。

具体实施方式

现在，将参照附图对吸附结构、机器人手以及机器人的实施方式进行详细说明。本发明不限于这些实施方式。

在下文中，将以机器人是将晶片作为目标物体进行搬运的基板搬送机器人的情况为例进行说明。晶片由附图标记“W”表示，在下面的说明中，将构成机械结构并且能够相对于彼此进行运动的各个刚性元件称作“连杆”。“连杆”有时也称作“臂部”。

参照图1至图5C进行的描述针对第一实施方式，该第一实施方式以通过在吸盘中形成薄壁部而使吸盘能够容易地弯曲的情况为例。参照图6至图9进行的描述针对第二实施方式，该第二实施方式以通过在偏心位置上支承吸盘而使吸盘能够容易地弯曲的情况为例。

(第一实施方式)

首先，参照图1对根据第一实施方式的机器人1的结构进行说明。图1是根据第一实施方式的机器人1的立体示意图。

为了容易理解，在图1中图示了包含将竖直向上作为正方向、将竖直向下作为负方向的Z轴的三维正交坐标系。沿XY平面延伸的方向表示“水平方向”。该正交坐标系有时在以下的说明中所使用的其他的附图中也被示出。