[发明专利]半导体元件靠边定位机构及其测试装置有效
申请号: | 201410322731.8 | 申请日: | 2014-07-08 |
公开(公告)号: | CN105319492B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 陈峰杰;詹勋亮;林文婷;陈盈宏 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体元件 定位机构 靠边 测试装置 滑轨 吸附 载座 动力源 校正片 垫块 开槽 底座 半导体元件检测 取放单元 用户重复 进出料 固设 滑设 角处 取放 上滑 吸座 整合 置放 治具 接管 陶瓷 | ||
1.一种半导体元件靠边定位机构,该半导体元件为一晶粒,包括有:
一基座,包括一底座及二垫块,该底座上设置有一滑轨及一动力源;
一吸附载座,包括一载盘及一固设于该载盘的陶瓷吸座,该陶瓷吸座为一方形结构,其侧边与该滑轨呈45度角,该陶瓷吸座连接至少一连接管,该载盘滑设于该滑轨上;以及
一校正片,具有至少一开槽,固设于该二垫块,该开槽呈方形,其侧边与该滑轨呈45度角;
其中,该吸附载座能通过该动力源在该滑轨上滑移至一特定处时,将一置放于该陶瓷吸座上的半导体元件定位至该开槽的一对角处。
2.如权利要求1所述的半导体元件靠边定位机构,其中,该动力源为一与一空气供应装置连接的汽缸。
3.如权利要求1所述的半导体元件靠边定位机构,其中,该校正片的多个开槽为阵列排列。
4.如权利要求1所述的半导体元件靠边定位机构,其中,该连接管连接一真空源或一空气供应装置。
5.一种半导体元件靠边定位测试装置,包括有:
一进料模块;
一半导体元件靠边定位机构,包括有一基座、一吸附载座及一校正片,该基座包括一底座及二垫块,该底座上设置有一滑轨及一动力源;该吸附载座包括一载盘及一固设于该载盘的陶瓷吸座,该陶瓷吸座连接一连接管,该载盘滑设于该滑轨上;该校正片具有至少一开槽,固设于该二垫块;其中,该吸附载座能通过该动力源在该滑轨上滑移至一特定处时,将一置放于该陶瓷吸座上的半导体元件定位至该开槽的一对角处;
一测试单元,用以检测半导体元件;
一出料模块;以及
二取放单元,分别设置于该进料模块与该半导体元件靠边定位机构组之间、及该半导体元件靠边定位机构与该出料模块组之间。
6.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该进料模块为转塔、拖盘、套管或卷带。
7.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该出料模块为拖盘、套管、卷带或半导体元件交换器。
8.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该动力源为一与一空气供应装置连接的汽缸。
9.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该校正片的多个开槽为阵列排列。
10.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该连接管连接一真空源或一空气供应装置。
11.如权利要求5所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该陶瓷吸座为一方形结构,其侧边与该滑轨呈45度角。
12.如权利要求11所述的半导体元件靠边定位测试装置,其中,该校正片的该开槽呈方形,其侧边与该滑轨呈45度角。
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