[发明专利]半导体元件靠边定位机构及其测试装置

说明书

本发明是有关于一种半导体元件靠边定位机构及其测试装置，该测试装置整合了半导体元件靠边定位机构、进出料模块以及取放单元。而半导体元件靠边定位机构包括有一基座、一吸附载座以及一校正片。基座包括一底座及二垫块，底座上设置有一滑轨及一动力源。吸附载座连接至少一连接管，滑设于滑轨上。校正片具有至少一开槽，固设于二垫块。其中，吸附载座是能通过动力源在滑轨上滑移至一特定处时，将一置放于陶瓷吸座上的半导体元件定位至开槽的一对角处。由此，在不更换任何治具的情况下，所述半导体元件将被准确的定位，有助于用户重复进行取放作业，增进半导体元件检测的效能。

技术领域

本发明是关于一种半导体元件靠边定位机构及其测试装置，尤指一种适用于半导体元件的靠边定位机构及其测试装置。

背景技术

关于半导体元件的定位机构，过去德国大厂MultiTest就曾利用过靠边技术，将半导体元件定位推送至对应的角落处，如大陆专利公开号第CN102097351A号所公开的“将两个成角度的分力施加在调准夹具的邻接部上的弹性单元”的发明是在探讨此一靠边定位概念。

请参阅图8，是为已知半导体元件靠边定位机构的立体图，图中出示一种半导体元件的调准夹具910，主要包括有弹性单元固定件982、弹性单元941、第一邻接部931、第二邻接部951以及底板911。弹性单元941包括有第一弹簧元件942及第二弹簧元件944分别刚性连接弹性单元固定件982及第一邻接部931。其中，第一邻接部931的刚性结构包括第一部分932及第二部分934，当其进入预加应力的位置时，由于第一邻接部931远离第二邻接部951移动，因此可在接收范围920内置放待测的半导体元件，使的通过弹性单元941的恢复力夹扣该半导体元件，并推送至底板911的第二邻接部951的第一部份952及第二部分954进行靠边定位。

然而，在此设计下所采用的弹性单元具有不易加工的特点，且若长时间使用则易产生弹性疲乏的现象，故其耐用性及夹持力将随着时间经过而递减；此外，关于此发明夹扣方式的设计概念，并无法适用于晶粒(Die)的对位，因夹扣的力量可能造成晶粒破裂的现象产生。

发明人缘因于此，本于积极发明的精神，亟思一种可以解决上述问题的半导体元件靠边定位机构及其测试装置，几经研究实验终至完成本发明。

发明内容

本发明的主要目的是在提供一种半导体元件靠边定位机构，是以一具有真空吸附及正压吹气的陶瓷吸座，配合校正片的设置，有效将半导体元件定位在校正片的开槽对角处，由此以简单的机制提高半导体元件定位的效率及精准度。同时，本发明可整合进料、出料模块及取放单元，成为一种整合性的半导体元件靠边定位测试装置，具备有结构简单、定位精准及适用范围广的技术特点，成为半导体元件检测系统中不可或缺的定位装置。

为达成上述目的，本发明的半导体元件靠边定位机构包括有一基座、一吸附载座以及一校正片。基座包括一底座及二垫块，底座上设置有一滑轨及一动力源。吸附载座包括一载盘及一固设于载盘的陶瓷吸座，陶瓷吸座连接至少一连接管，载盘滑设于该滑轨上。校正片具有至少一开槽，固设于二垫块。

在定位过程中，吸附载座是能通过动力源在滑轨上滑移至一特定处时，将一置放于陶瓷吸座上的半导体元件定位至开槽的一对角处。由此，在不更换任何治具的情况下，所述半导体元件将被准确的定位，有助于用户重复进行取放作业，增进整体半导体元件制作或检测的效能。

上述动力源可为一与一空气供应装置连接的汽缸，其中本发明的滑轨是为一线性滑轨，以提供吸附载座在滑轨滑动时所需的动力，其不局限于使用汽缸的动力供应装置。

上述校正片的开槽若不只一处时，可为阵列排列。由此，在陶瓷吸座上可同时定位多颗半导体元件，有效节省后续半导体元件加工或检测的时间及其设备数量，具备批次靠边定位的特性。此外，该校正片也可依据不同半导体元件的尺寸或厚薄程度进行更换，用以达到较佳的定位精确度，故本发明所采用的校正片具有可更换性且并非单一尺寸。