[发明专利]去除LED芯粒背镀层的方法有效
申请号: | 201410325865.5 | 申请日: | 2014-07-09 |
公开(公告)号: | CN104091863B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 胡弃疾;汪延明;苗振林 | 申请(专利权)人: | 湘能华磊光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 长沙智嵘专利代理事务所43211 | 代理人: | 黄子平 |
地址: | 423038 湖南省郴*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 去除 led 芯粒背 镀层 方法 | ||
1.一种去除LED芯粒背镀层的方法,所述LED芯粒的背面设置背镀层,其特征在于,包括以下步骤:
1)贴膜:将所述LED芯粒的背面粘附于可撕除膜上,得到粘附芯粒;
2)涂蜡:将所述粘附芯粒中所述LED芯粒的正面和侧壁涂抹蜡液,并将所述粘附芯粒中所述LED芯粒的正面固接于固定板上,之后将所述可撕除膜去除,得到涂蜡芯粒;
3)去背镀层:将所述涂蜡芯粒浸入去层液中浸泡,得到去层芯粒;
4)脱蜡:将所述去层芯粒置于脱蜡液中去除所述LED芯粒正面和侧壁的蜡和所述固定板,得到脱蜡LED芯粒;
所述背镀层包括DBR层,所述DBR层浸泡于所述去层液中1~5分钟后去除。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述背镀层为生长于所述LED芯粒背面的DBR层或ODR层,ODR层由无机材料层和金属层组成,当所述背镀层为ODR层时所述去层液包括腐蚀液和蚀刻液,所述步骤3)中包括:
a)去除金属层:将所述涂蜡芯粒浸入腐蚀液中浸泡,将所述涂蜡芯粒背面的所述ODR层去除,得到第一去层芯粒;
b)去除无机材料层:将所述第一去层芯粒浸入蚀刻液中浸泡,将所述DBR层去除,得到所述去层芯粒。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,将所述第一去层芯粒浸入蚀刻液中浸泡2~3分钟。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述第一去层芯粒经清洗后再进入b)步骤中。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述蚀刻液为BOE溶液。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述步骤1)中,同时将多个所述LED芯粒的背面粘附于同一可撕除膜上。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤2)中,去除所述可撕除膜的步骤前还包括:升高所述固定板的温度,并在所述固定板表面上设置液态蜡层,将所述粘附芯粒的正面粘附于所述固定板上的液体蜡层上,降低所述固定板的温度,使液态蜡层凝固。
8.根据权利要求1~7中任一项所述的方法,其特征在于,还包括对所述脱蜡LED芯粒进行清洗和烘干的步骤。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述烘干步骤中烘干温度为50~70℃.
10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述清洗步骤中采用异丙醇清洗5-15分钟。
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