[发明专利]电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体

说明书

本发明提供一种因所使用的环境的温度变化所造成的检测特性的变动被抑制的、检测特性更为稳定的电子装置及制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。物理量传感器(1)具备第一传感器元件(99)和被配置在第一传感器元件(99)的外周的至少一部分上的外缘部(90)，在俯视观察外缘部(90)时，在外缘部(90)上设置有在第一方向上延伸的第一槽(92)。

技术领域

本发明涉及一种电子装置、电子装置的制造方法、物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

一般情况下，已知一种作为具备机械式可动的结构体的机电系统结构体的物理量传感器。作为物理量传感器，例如，已知一种根据可动电极与固定电极之间的静电电容来对物理量进行检测的电容型传感器(例如，专利文献1所述的半导体力学传感器)，其中，所述可动电极根据物理量(加速度、角速度等)的作用进行位移，所述固定电极与该可动电极相对置。该电容型传感器例如由支承用的基板、被设置在该基板上的传感器元件(固定电极、固定部(锚定部)、从固定部延伸出的支承部、通过支承部以脱离基板的方式而被支承的可动电极等)等形成。此外，传感器元件为例如通过光刻法等对与基板(玻璃基板等)相贴合的半导体基板(硅基板等)进行精密加工而获得。

在这种电容型传感器中，存在被形成于传感器元件的结构的寄生电容使传感器的灵敏度降低的情况。对此，在专利文献2所述的半导体力学传感器中，提出了一种如下技术，即，具备对被配置在传感器元件的外周的外周部的电位进行固定的单元(屏蔽电极)，从而防止传感器灵敏度的降低的技术。

然而，在如上述的专利文献2所述的半导体力学传感器这种在传感器元件的外周具备外周部的物理量传感器中，存在根据所使用的温度环境，作为传感器的检测特性发生变动的问题。具体而言，存在如下问题，即，从外周部向传感器元件的可动部(可动电极)传递的干扰等的泄漏振动、泄漏力对传感器元件的可动部(可动电极)的位移造成影响，从而导致检测特性发生变动的问题。

专利文献1：日本特开平9－211022号公报

专利文献2：日本特开2007－279056号公报

发明内容

本发明为用于解决上述的课题的至少一部分而被完成的，且能够作为以下的应用例或方式来实现。

应用例1

本应用例所涉及的电子装置的特征在于，具备：第一功能元件；外缘部，其配置在所述第一功能元件的外周的至少一部分上，在俯视观察所述外缘部时，在所述外缘部上设置有在第一方向上延伸的第一槽。

根据本应用例，电子装置具备第一功能元件和被配置在第一功能元件的外周(俯视观察电子装置时的外周)的外缘部。而且，在外缘部上具有在第一方向上延伸的第一槽。在这种结构中，外缘部例如通过在外缘部上设置有第一槽，从而从外缘部向第一功能元件被传递的干扰等的泄漏振动、泄漏力通过第一槽而使其传递被缓和。因此，能够提供一种由从外部向第一功能元件被传递的干扰等的泄漏振动或泄漏力所造成的电特性的变动被减少的、电特性更为稳定的电子装置。

应用例2

在上述应用例所涉及的电子装置中，优选为，在俯视观察所述外缘部时，在所述外缘部上设置有在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽。

根据本应用例，电子装置在第一功能元件的外缘部上除了具有在第一方向上延伸的第一槽以外，还具有在与第一方向交叉的第二方向上延伸的第二槽。从外缘部向第一功能元件被传递的干扰等的泄漏振动、泄漏力至少被分解为，在第一方向或与第一方向交叉的第二方向中的任意一个方向上的矢量成分。如本应用例所示，通过设置有第一槽和第二槽，从而相对于槽而在与槽的延伸方向交叉的方向上作用的应力通过槽而使其传递被缓和。因此，能够提供一种由从外部向第一功能元件被传递的干扰等的泄漏振动或泄漏力所造成的电特性的变动被减少的、电特性更为稳定的电子装置。

应用例3