[发明专利]一种超洁净真空部件包装储存方法

权利要求书

1.一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于，对超洁净真空系统内部的真空部件(1)在清洗后，采用金属转移工具(2)进行空间转移，采用金属盒盒体(4)作为真空部件(1)储存的容器，戴手套用金属箔(3)隔离情况取出和安装真空部件(1)。

2.根据权利要求1所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于，具体步骤如下：

a、对超洁净真空系统内部的真空部件(1)在清洗后，采用金属转移工具(2)将真空部件(1)转移到金属盒盒体(4)内，盖上盒盖(42)并用锁扣(45)锁紧；

b、对金属盒盒体(4)通过带有阀门的真空管道及其阀门(44)采用真空机组抽空后，将阀门关闭，使金属盒盒体(4)内保持真空；

c、在使用真空部件(1)时，带有阀门的真空管道及其阀门(44)连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体(4)内冲入保护气体，松开锁扣(45)，打开盒盖(42)；

d、戴手套用金属箔(3)隔离的情况下取出和安装真空部件。

3.根据权利要求2所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的保护气体为干燥空气、氮气、氦或氩气。

4.根据权利要求2所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)存放在金属篮筐(7)内清洗时，采用金属转移工具(2)连同金属篮筐(7)一起转移至金属盒盒体(4)内储存。

5.根据权利要求2所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)为真空管(11)时，在真空管(11)的端口及外部表面用金属箔(3)包裹后，用金属转移工具(2)将其转移到金属盒盒体(4)内。

6.根据权利要求2所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)为光学部件(12)，在所述光学部件(12)的外部制作金属框架，所述金属框架设置有卡扣(51)，用金属转移工具(2)将其转移到金属盒盒体(4)内，通过卡扣(51)将光学部件(12)固定在金属盒盒体(4)内的悬挂装置(41)上。

7.根据权利要求2所述的一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的储存容器包括金属盒盒体(4)、盒盖(42)、金属密封圈(43)和带有阀门的真空管道及其阀门(44)，所述盒盖(42)固定安装在所述金属盒盒体(4)上部，所述盒盖(42)与金属盒盒体(4)之间通过金属密封圈(43)密封，在所述金属盒盒体(4)设有带有阀门的真空管道及其阀门(44)。

8.根据权利要求7所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述盒盖(42)通过锁扣(45)或法兰螺栓固定在金属盒盒体(4)上。

9.根据权利要求7所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的金属密封圈(43)的材质为铝、锡、铅、银、金、铟软性金属或其合金。