[发明专利]一种超洁净真空部件包装储存方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空洁净度有要求的系统中污染物的控制技术，尤其涉及一种超洁净真空部件包装储存方法。

背景技术

在大功率激光泵浦光源及应用光学系统、极紫外光源光学系统、超洁净分析仪器中，由于挥发性有机污染物在光学表面的沉积，将直接影响光学元件的性能和寿命，特别是在强激光作用下使有机污染物形成气溶胶颗粒污染物，这些颗粒污染物在光学表面沉积还会带来光学元件的损伤，因此在这些系统中对污染物的控制要求是非常高的。在对一些光学系统的污染物分析结果中，发现增塑剂是一种非常常见的污染物，它的来源，在很大程度上取决于系统中一般存在的有绝缘包皮的导线、塑料制品等包含有增塑剂的有机材料，由于这些材料的存在，使增塑剂通过真空挥发、强光照射、粒子碰撞等形式从材料中释放出来，成为系统中的污染源。从这些材料中释放出的增塑剂等污染物，可以通过密封包覆等方式，使污染物控制在包覆材料内部，减少增塑剂对超洁净真空系统的污染。

尽管通过一些措施能够对系统内部的污染物进行部分控制，但是在系统内部使用的一些真空部件，由于清洗过后的储存中采用的塑料外包装、密封部件用的橡胶圈、搬运安装时使用的橡胶手套接触等环节，仍会在真空部件表面形成二次污染，并将增塑剂等污染物带入系统内部。针对由此带来的二次污染问题，本发明对包装储存方法进行改进，尽量避免真空部件二次污染。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种超洁净真空部件包装储存方法，减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。

技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件。

具体步骤如下：

a、对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具将真空部件转移到金属盒盒体内，盖上盒盖并用锁扣锁紧；

b、对金属盒盒体通过带有阀门的真空管道及其阀门采用真空机组抽空后，将阀门关闭，使金属盒盒体内保持真空；

c、在使用真空部件时，带有阀门的真空管道及其阀门连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体内冲入保护气体，松开锁扣，打开盒盖；

d、戴手套用金属箔隔离的情况下取出和安装真空部件。

进一步的，所述的保护气体为干燥空气、氮气、氦或氩气。

进一步的，所述的真空部件存放在金属篮筐内清洗时，采用金属转移工具连同金属篮筐一起转移至金属盒盒体内储存。

进一步的，所述的真空部件为真空管时，在真空管的端口及外部表面用金属箔包裹后，用金属转移工具将其转移到金属盒盒体内。

进一步的，所述的真空部件为光学部件，在所述光学部件的外部制作金属框架，所述金属框架设置有卡扣，用金属转移工具将其转移到金属盒盒体内，通过卡扣将光学部件固定在金属盒盒体内的悬挂装置上。

进一步的，所述的储存容器包括金属盒盒体、盒盖、金属密封圈和带有阀门的真空管道及其阀门，所述盒盖固定安装在所述金属盒盒体上部，所述盒盖与金属盒盒体之间通过金属密封圈密封，在所述金属盒盒体设有带有阀门的真空管道及其阀门。所述盒盖通过锁扣或法兰螺栓固定在金属盒盒体上。所述的金属密封圈的材质为铝、锡、铅、银、金、铟软性金属或其合金。

有益效果：本发明的一种超洁净真空部件包装储存方法，将清洗过后的真空部件与传统的包装所用的塑料薄膜、有机材料制成的包装盒等进行分离，避免了有机污染物蒸汽对真空部件的二次污染，有效减少超洁净真空系统中的污染源。

附图说明

附图1为本发明真空部件储存容器结构示意图。

附图2为本发明真空部件在金属篮筐后在金属盒内悬挂示意图。

附图3为本发明真空管的存储与转移示意图。

附图4为本发明光学部件框架及固定结构示意图。

附图5为本发明光学部件在金属盒盒体内悬挂示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

一种超洁净真空部件包装储存方法，是对超洁净真空系统内部的真空部件1在清洗后，采用金属转移工具2进行空间转移，采用金属盒盒体4作为真空部件1储存的容器，戴手套用金属箔3隔离情况取出和安装真空部件1。