[发明专利]样品台及显微镜系统有效
| 申请号： | 201410340994.1 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104183453A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 沈轶强 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 显微镜 系统 | ||
1.一种样品台，适用于电子背散射衍射式的工作模式和透射式电子衍射的工作模式，其特征在于，包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；其中，
所述支撑架包括支撑台、及支撑杆；所述支撑杆与所述支撑台连接，所述支撑台与支撑杆成142度。
2.如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品槽包括样品架、固定在所述样品架上的固定元件、及与所述样品架连接的连接杆。
3.如权利要求2所述的样品台，其特征在于，所述固定元件包括固定样品的铜片、及与所述铜片配合使用的螺丝。
4.如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述支撑杆上设置有螺纹。
5.如权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品槽装配在所述支撑台上。
6.如权利要求5所述的样品台，其特征在于，所述支撑台上设置有连接槽、及与所述连接槽连通的锁孔。
7.如权利要求6所述的样品台，其特征在于，所述样品槽装配在所述支撑架上时，所述连接杆穿插于所述连接槽中。
8.如权利要求7所述的样品台，其特征在于，所述连接槽的数量大于等于所述连接杆的数量。
9.一种显微镜系统，其特征在于，包括：二次电子显微镜、及固定在所述二次电子显微镜的载物台上的样品台；其中，
所述样品台包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；所述支撑架包括支撑台、及支撑杆；所述支撑杆的两端依次与所述支撑台及所述载物台连接，所述支撑台与支撑杆成142度，所述支撑杆与所述载物台成90度。
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