[发明专利]样品台及显微镜系统

说明书

技术领域

本发明涉及样品台的制造技术领域，特别涉及一种样品台及显微镜系统。

背景技术

电子背散射衍射技术是一种基于二次电子显微镜对材料表面晶粒大小分布以及取向分布的测试技术。通常在进行电子背散射衍射技术过程中，进行电子背散射衍射的样品需与水平面成70度夹角，而电子是以掠射角进入样品的，所以该条件下横向分辨率大于100纳米，很难对小于100纳米的晶粒进行分析。因此提高电子背散射衍射技术的横向分辨率是现在一个热门的研究方向。

通常本领域技术人员为了提高电子背散射衍射技术的横向分辨率所采用的方法为将原来采集电子背散射衍射的工作模式改变成采集透射式电子衍射的工作模式，这是由于在透射式电子衍射的工作模式下样品可以平行于水平面放置而不需要倾转70度。

但是由于透射式电子衍射的工作模式是一个由电子背散射衍射的工作模式改良后的模式，市场上尚未出现适合透射式电子衍射的工作模式的样品台，大大降低了样品的分析测试的效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种样品台及显微镜系统，以解决使用现有技术中由于不存在适合透射式电子衍射的工作模式的样品台，在电子背散射衍射的工作模式与透射式电子衍射的工作模式相互切换的过程中，操作复杂，降低了样品的分析测试的效率的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种样品台，所述样品台包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；其中，

所述支撑架包括支撑台、及支撑杆；所述支撑杆与所述支撑台连接，所述支撑台与支撑杆成142度。

可选的，在所述的样品台中，所述样品槽包括样品架、固定在所述样品架上的固定元件、及与所述样品架连接的连接杆。

可选的，在所述的样品台中，所述固定元件包括固定样品的铜片、及与所述铜片配合使用的螺丝。

可选的，在所述的样品台中，所述支撑杆上设置有螺纹。

可选的，在所述的样品台中，所述样品槽装配在所述支撑台上。

可选的，在所述的样品台中，所述支撑台上设置有连接槽、及与所述连接槽连通的锁孔。

可选的，在所述的样品台中，所述样品槽装配在所述支撑架上时，所述连接杆穿插于所述连接槽中。

可选的，在所述的样品台中，所述连接槽的数量大于等于所述连接杆的数量。

本发明还提供一种显微镜系统，所述显微镜系统包括：二次电子显微镜、及固定在所述二次电子显微镜的载物台上的样品台；其中，

所述样品台包括：支撑架、及装配在所述支撑架上的样品槽；所述支撑架包括支撑台、及支撑杆；所述支撑杆的两端依次与所述支撑台及所述载物台连接，所述支撑台与支撑杆成142度，所述支撑杆与所述载物台成90度。

在本发明所提供的样品台及显微镜系统中，通过将支撑台与支撑杆设计成两者之间成142度，且支撑杆与载物台成90度的结构，在样品台装载样品进行测试分析时，通过调整载物台的倾转和/或旋转，即可以大范围的调整样品与水平面的倾转角，从而可根据实际需要进行电子背散射衍射的工作模式与透射式电子衍射的工作模式之间的切换。

附图说明

图1是本发明一实施例中的支撑架固定在载物台上的侧视图；

图2是图1中的支撑台的俯视图；

图3是本发明一实施例中的样品槽的俯视图；

图4是图3中样品槽沿A-A方向的剖面图。

图1-图4中：

支撑架-10；支撑台-11；支撑杆-12；样品槽-20；铜片-21；螺丝-22；支撑杆-23；样品架-24；固定元件-25；载物台-30；样品-1。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的样品台作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参考图1及图3，其中，图1为本发明一实施例中的支撑架固定在载物台上的侧视图，图1为本发明一实施例中的样品槽的俯视图。结合图1及图2，所述的适用于适用于电子背散射衍射式的工作模式和透射式电子衍射的工作模式的样品台包括：支撑架10、及装配在所述支撑架10上的样品槽20；其中，所述支撑架10包括支撑台11、及支撑杆12；所述支撑杆12与所述支撑台11连接，所述支撑台11与支撑杆12成142度。