[发明专利]一种调节二氧化钒薄膜相变温度的方法有效
| 申请号： | 201410341407.0 | 申请日： | 2014-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN104261873A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王少伟;刘星星;陆卫;俞立明;陈效双 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C04B41/50 | 分类号： | C04B41/50;C03C17/23 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 调节 氧化 薄膜 相变 温度 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种调节二氧化钒薄膜相变温度的方法，其特征在于包括如下步骤：
1)通过磁控溅射、离子束溅射、化学气相沉积、真空热蒸发、电子束蒸发、激光脉冲沉积或溶胶凝胶的方法在衬底上制备多个金属钒薄膜样品；
2)在氧气分压11～18Pa之间选择与金属钒薄膜样品数量相应的多个氧气分压测试点，通氧退火得到有相变的二氧化钒薄膜样品；
3)测试上述二氧化钒薄膜样品的热滞回线，采用高阶多项式拟合得到其热滞回线函数，函数拐点对应的温度为二氧化钒薄膜相变温度；
4)通过二项式拟合获取二氧化钒薄膜样品的相变温度与退火氧气分压关系曲线；
5)根据所需制备二氧化钒薄膜的相变温度，依据步骤4)给出的相变温度与退火氧气分压关系曲线找到相应氧气分压，在该氧气分压下对金属钒薄膜退火处理，得到满足相变温度要求的二氧化钒薄膜。
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