[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置

权利要求书

1.一种薄膜形成方法，其具有：

在憎液性的表面一边移动着落地点一边重复进行使光固化性的薄膜材料着落的处理、和着落后向所述表面上的薄膜材料照射光而使其固化的处理，由此在所述表面的应涂布薄膜材料的区域形成第1膜的工序；

通过在所述第1膜上涂布液状的所述薄膜材料，形成液状的第2膜的工序；及

在形成所述第2膜之后，照射光而使所述第2膜固化的工序。

2.根据权利要求1所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述第1膜的工序中，在所述薄膜材料的液滴通过所述表面的憎液性从着落地点移动之前，使所述薄膜材料固化。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜形成方法，其中，

在形成所述第2膜的工序中，使液状的所述薄膜材料覆盖所述第1膜的表面的整个区域。

4.一种薄膜形成装置，其具有：

载物台，保持基板；

喷嘴头，具有朝向保持于所述载物台的基板吐出光固化性的液状的薄膜材料的多个喷嘴孔；

移动机构，使所述基板和所述喷嘴头中的一个相对于另一个移动；

光源，向附着于保持在所述载物台的基板的液状的所述薄膜材料照射固化用光；及

控制装置，控制所述喷嘴头、所述光源及所述移动机构，

所述控制装置中，

一边使所述喷嘴头及所述基板中的一个相对于另一个移动，一边从所述喷嘴头吐出液状的薄膜材料而使液状的薄膜材料附着于所述基板的一部分区域，并且从所述光源向附着于所述基板的液状的所述薄膜材料照射固化用光，从而使所述薄膜材料固化，由此形成第1膜，

在形成所述第1膜之后，一边使所述喷嘴头及所述基板中的一个相对于另一个移动，一边从所述喷嘴头吐出液状的所述薄膜材料而使液状的所述薄膜材料附着于所述第1膜上，从而形成液状的第2膜，

在形成所述第2膜之后，向所述第2膜照射固化用光，从而使所述第2膜固化。