[发明专利]谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法

权利要求书

1.一种谐振器的谐振频率调控方法，其特征在于，包括：

提供一谐振器，其中，所述谐振器包括压电层和多个电极层；

根据预期的谐振频率要求，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，所述多层分子薄膜用于对所述谐振器的谐振频率进行调整，并且通过在所述谐振器表面进行等离子处理，使所述多层分子膜沉积在所述谐振器表面的非焊盘区域位置上，不会沉积在金焊盘区域位置上。

2.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：

通过分子自组装技术，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜。

3.根据权利要求2所述的谐振频率调控方法，其特征在于，实现分子自组装的方式包括以下至少之一：

将聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐，与聚丙烯酸进行组装；

将聚乙烯亚胺与聚丙烯酸进行组装；

将多聚赖氨酸与透明质酸进行组装；

将聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐，与聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐进行组装；

将聚二烯丙基二甲基氯化铵或二烯丙基二甲基氯化铵，与聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐进行组装；

将丹宁酸与聚乙烯吡咯烷酮进行组装；

将丹宁酸与聚N-乙烯基己内酰胺进行组装；

将丹宁酸和聚N-异丙基丙烯酰胺进行组装；

将聚4-乙烯吡啶或4-乙烯吡啶，与聚丙烯酸进行组装。

4.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：

通过不同的多种溶液对所述谐振器分别进行沉积处理，使所述不同的多种溶液在没有外力的作用下，通过多种溶液之间分子的相互作用力在所述谐振器表面形成多层分子薄膜。

5.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述沉积处理的方式包括以下至少之一：

通过溶液浸泡的方式；

通过旋转涂抹的方式。

6.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在对所述谐振器的谐振频率进行调整时，调整的对象包括以下至少之一：

每种溶液的浓度；

每种溶液的氢离子活度指数PH值；

每种溶液在所述谐振器表面沉积的时间；

对所述谐振器进行溶液的沉积处理的次数。

7.根据权利要求4所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述溶液包括有机物溶液或无机物溶液，并且，所述不同的多种溶液包括至少两种有机物溶液或至少两种无机物溶液。

8.根据权利要求7所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述多种溶液之间分子的相互作用力包括以下至少之一：

有机物分子之间的静电作用；

有机物分子之间的氢键作用；

有机物分子之间的配位键作用；

无机物分子之间的相互作用；

无机物之间修饰的官能团的相互作用，其中，对所述无机物预先完成官能团修饰。

9.根据权利要求1所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜之前，所述谐振频率调控方法进一步包括：

对所述谐振器进行官能团修饰，使所述谐振器的表面形成化学官能团；

并且，在所述谐振器表面形成多层分子薄膜包括：

在已形成有化学官能团的所述谐振器的表面形成多层分子薄膜，其中，使所述化学官能团与所述多层分子薄膜实现分子自组装。

10.根据权利要求9所述的谐振频率调控方法，其特征在于，在对所述谐振器进行官能团修饰之前，所述谐振频率调控方法进一步包括：

对所述谐振器进行等离子处理，使所述谐振器表面形成羟基；

并且，对所述谐振器进行官能团修饰包括：

在已形成有羟基的所述谐振器的表面进行官能团修饰。

11.根据权利要求9所述的谐振频率调控方法，其特征在于，所述官能团修饰的方式包括以下至少之一：

化学气相沉积；湿法化学的方式。