[发明专利]谐振器以及谐振器的谐振频率调控方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体来说，涉及一种谐振器，以及一种谐振器的谐振频率调控方法。

背景技术

随着通讯技术的快速发展，通讯设备的中心频率有了大幅提升，因此，通讯系统对选频器件——滤波器的性能、尺寸等诸多方面也有了更高的要求，并且，通讯系统的小型化以及集成化也已经成为了系统发展的必然趋势。

然而，对于现有的传统滤波器来说，当通讯系统的中心频率提升到足够高时，例如中心频率达到千兆赫兹以上，那么由于其自身性能等原因的限制，现有的传统滤波器显然并不能够满足通讯系统集成化和小型化的需求。

因此，为了克服传统滤波器的上述缺陷，市场上开发出了多种新型的滤波器，例如薄膜体声波谐振器滤波器，而由于新型滤波器具有体积小、品质因数高、工作频率高以及与半导体工艺兼容性高的诸多优点，使其在通讯领域有着更加广阔的市场前景。

那么，就薄膜体声波谐振器滤波器而言，它是通过对多个薄膜体声波谐振器进行串联和并联所形成的拓扑结构来实现对信号的滤波的，因此，滤波器中谐振器的谐振频率直接影响着滤波器的通带位置，也就是说，谐振器的谐振频率对滤波器的滤波效果有着直接的影响。

因此，为了使新型滤波器的滤波效果更好，在传统的谐振器工艺中，主要是通过改变谐振器表面的质量负载的厚度来实现对谐振器谐振频率的调控的，也就是说，现有技术是通过采用半导体工艺中传统的沉积、光刻以及刻蚀等方法来实现对谐振器谐振频率的调控。

但是，对于上述传统的谐振器谐振频率的调控方法，普遍是存在着调控成本高、时间长，以及操作复杂和调控精度低的问题，此外，由于在上述传统调控过程中需要用到光刻胶、刻蚀液等化学制剂，因此，其也会对操作人员和环境带来一定的危害。

而针对相关技术中在对谐振器的谐振频率进行调控时，所存在的调控时间长、成本高、操作复杂和调控精度低等问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

针对相关技术中在对谐振器的谐振频率进行调控时，所存在的调控时间长、成本高、操作复杂和调控精度低的问题，本发明提出一种谐振器以及一种谐振器的谐振频率调控方法，能够在谐振器表面通过形成多层分子薄膜的方式实现对谐振器谐振频率的调控，同时又能够节省成本，并提高频率调控的精度。

本发明的技术方案是这样实现的：

根据本发明的一个方面，提供了一种谐振器的谐振频率调控方法。

该谐振频率调控方法包括：

提供一谐振器，其中，谐振器包括压电层和多个电极层；

根据预期的谐振频率要求，在谐振器表面形成多层分子薄膜，其中，多层分子薄膜用于对谐振器的谐振频率进行调整。

其中，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可通过分子自组装技术，在谐振器表面形成多层分子薄膜。

其中，实现分子自组装的方式可包括以下至少之一：

将聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐，与聚丙烯酸进行组装；

将聚乙烯亚胺与聚丙烯酸进行组装；

将多聚赖氨酸与透明质酸进行组装；

将聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐，与聚丙烯胺盐酸盐或丙烯胺盐酸盐进行组装；

将聚二烯丙基二甲基氯化铵或二烯丙基二甲基氯化铵，与聚苯乙烯磺酸盐或苯乙烯磺酸盐进行组装；

将丹宁酸与聚乙烯吡咯烷酮进行组装；

将丹宁酸与聚N-乙烯基己内酰胺进行组装；

将丹宁酸和聚N-异丙基丙烯酰胺进行组装；

将聚4-乙烯吡啶或4-乙烯吡啶，与聚丙烯酸进行组装。

此外，在谐振器表面形成多层分子薄膜时，可通过不同的多种溶液对谐振器分别进行沉积处理的方式，使不同的多种溶液在没有外力的作用下，通过多种溶液之间分子的相互作用力在谐振器表面形成多层分子薄膜。

其中，沉积处理的方式包括以下至少之一：

通过溶液浸泡的方式；

通过旋转涂抹的方式。

此外，在对谐振器的谐振频率进行调整时，调整的对象可包括以下至少之一：

每种溶液的浓度；

每种溶液的氢离子活度指数(PH)值；

每种溶液在谐振器表面沉积的时间；

对谐振器进行溶液的沉积处理的次数。

其中，溶液可以是由有机物溶液组成，也可以是由无机物溶液组成，并且，不同的多种溶液可以由两种或两种以上的有机物溶液组成，也可以由两种或两种以上的无机物溶液组成。

并且，多种溶液之间分子的相互作用力可以包括以下至少之一：

有机物分子之间的静电作用；