[发明专利]蒸发镀膜装置

权利要求书

1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：

柱状体，所述柱状体包括表面设有凹槽的筒体，以及与所述筒体匹配套装的中空套筒；所述凹槽沿所述筒体中心线方向延伸设置，且所述凹槽内设有多个间隔设置的隔间；所述中空套筒顶端区域设有第一蒸发孔；

坩埚，所述坩埚包括一端敞口、四周密封的本体，以及与所述本体匹配连接的盖罩，且所述盖罩上设有与所述第一蒸发孔相对应的第二蒸发孔；所述本体置于所述隔间内；

加热体，所述加热体为中空柱状结构，且所述柱状体位于所述加热体内部；所述加热体上设有与所述第一蒸发孔相对应的喷嘴；

内加热丝，所述内加热丝连接有控制单元，且所述内加热丝设在所述隔间位置处；

外加热丝，所述外加热丝设在所述加热体外表面。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述中空套筒为圆形截面的柱状结构，且沿所述柱状结构的轴向方向为两端贯通设置；所述筒体的横截面为U型，所述隔间在所述凹槽内等距、均匀排布；

所述隔间包括平行设置的两个隔板，两个所述隔板、两个所述隔板之间的部分所述筒体共同构成所述隔间。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述坩埚的横截面为圆形结构，且所述本体的横截面为与所述筒体横截面相符的U型结构；

所述第一蒸发孔包括有多个，且沿所述柱状体中心线方向成排设置。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述第二蒸发孔位于所述盖罩的侧表面，且临近所述盖罩的顶端设置；

所述第一蒸发孔位于所述中空套筒的侧表面，且临近所述中空套筒的顶端设置。

5.根据权利要求1-4任一项所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，对应所述隔间区域，所述筒体的内侧壁上设有冷凝管。

6.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述喷嘴为圆柱状，且包括有多个；多个所述喷嘴沿所述加热体延伸方向成排设置。

7.根据权利要求6所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述加热体上端侧还设有遮板，所述遮板包括有两个，且分别位于所述喷嘴两侧；

两个所述遮板均倾斜设置。

8.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述内加热丝均匀缠绕在所述中空套筒表面，且与所述坩埚位置相对应；

所述外加热丝均匀缠绕在所述加热体表面。

9.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，对应所述隔间区域和两个所述隔间之间，所述蒸发镀膜装置还包括有与所述控制单元连接的晶振感应件；

所述晶振感应件用于检测蒸发镀膜的速率。