[发明专利]硅片显影定影装置在审
| 申请号： | 201410350781.7 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104102095A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 许玉雷 | 申请（专利权）人： | 济南晶博电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 王汝银 |
| 地址： | 250200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 显影 定影 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片显影定影装置，其特征在于，它包括槽体、槽盖、吹气泵、吸气泵、气体罐、流量调节阀和气体分流装置，所述吹气泵的进气端与气体罐连通，其出气端与所述气体分流装置连通，在出气端与气体分流装置连通的管道上设置所述流量调节阀；所述吸气泵的进气端与槽体连通，其出气端与所述气体罐连通；所述气体分流装置设置在槽体底部。
2.根据权利要求1所述的硅片显影定影装置，其特征在于，所述气体分流装置为分流管，所述分流管上设置有若干出气孔。
3.根据权利要求1所述的硅片显影定影装置，其特征在于，所述气体分流装置为设置在所述槽体底部的盒体，所述盒体的上表面设置有若干出气孔。
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