[发明专利]不良检查系统及其方法

权利要求书

1.一种基板不良检查方法，其特征在于，包括：

第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及

第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分，

其中，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，

所述第一不良检查步骤通过设置在包含于清洗机与转台之间的第一支撑结构体的第一支撑件上的两个第一摄像头检查所述第一基板的边缘中的一部分，所述第二不良检查步骤通过设置在包含于所述转台与移动通信部之间的第二支撑结构体的第二支撑件上的两个第二摄像头检查所述第一基板的其他边缘，

对应于所述第二摄像头的光源设置在所述第二支撑件上，所述第一支撑件与所述第二支撑件是不同的支撑件，将清洗后的第一基板放置在机械手的第一臂使其位于所述第二摄像头与对应的光源之间，将清洗前的第二基板放置在机械手的第二臂，所述第一基板及所述第二基板放置在所述机械手的第一臂及第二臂的状态下，所述第一臂从所述转台移送至所述移送通信部，所述第二臂从所述移送通信部移送至所述转台，通过同时移送所述第一臂及所述第二臂的过程中同时移送所述第一基板及所述第二基板，所述同时移送的期间通过所述第二摄像头检查所述第一基板的边缘。

2.根据权利要求1所述的基板不良检查方法，其特征在于：

所述第一基板从所述移送通道部移送到腔室接受特定工序，所述特定工序结束后从所述腔室移送到封装盒。

3.一种基板不良检查系统，其特征在于，包括：

支撑结构体，其包括支撑件；

第一图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的一部分；以及

第二图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的其他部分，

其中，所述第一图像获取装置在第一基板向第一方向移送时检查所述第一基板的边缘中的一部分，所述第二图像获取装置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送时检查所述第一基板的其他边缘，

机械手利用第一臂将清洗后的第一基板从转台移送至移送通信部，利用第二臂将清洗前的第二基板从所述移送通信部移送至所述转台，交换所述第一基板与所述第二基板的位置，所述第二图像获取装置在所述第一基板与所述第二基板的位置交换期间检查所述第一基板的其他边缘。

4.根据权利要求3所述的基板不良检查系统，其特征在于：

所述第一图像获取装置设置于清洗机的内部或所述清洗机与转台之间，所述第二图像获取装置设置于所述转台的内部或所述转台与移送通道部之间，

其中，清洗后的第一基板在所述清洗机的内部或所述清洗机与所述转台之间移送期间接受第一次检查，检查所述第一基板的边缘中的一部分的不良，所述第一基板在所述转台的内部或所述转台与所述移送通道部之间移送期间接受第二次检查，检查所述第一基板的其他边缘的不良。

5.根据权利要求3所述的基板不良检查系统，其特征在于，还包括：

移送构件及升降构件，

其中，所述升降构件使位于所述移送构件上的所述第一基板上升，将上升的所述第一基板放置在所述机械手的第一臂上，在所述第一基板放置于所述第一臂状态下所述第一臂移动期间，检查所述第一基板的其他边缘的不良。