[发明专利]不良检查系统及其方法

说明书

本发明公开一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。所述不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向与所述第二方向不同。本发明的不良检查系统及其方法可利用两个摄像头检查向第一方向移送的第一基板的边缘中的一部分，并利用两个摄像头检查向第二方向移送的第一基板的其他边缘。即，所述不良检查系统用四个摄像头即可检查基板上的所有边缘的不良，设置的摄像头数量比现有的不良检查系统少。因此能够大幅降低上述不良检查系统的费用。

技术领域

本发明涉及一种不良检查系统及其方法。

背景技术

通过检查基板不良来预先检测出现不良的基板是非常重要的。通常如图1所示地进行基板的边缘不良检查。

图1为显示通常的基板边缘不良检查的示意图。

如图1所示，基板的横切方向设置有摄像头102，摄像头102检查基板的边缘不良。此时基板的四个边缘均需要检查，因此需要多个摄像头。

尤其，用于不良检查的摄像头价格高，因此不良检查系统的费用相当高。

现有技术文献

专利文献：韩国授权专利公报第1251852(授权日期：2013年4月1日)。

发明内容

技术问题

本发明的目的为提供一种能够降低费用的不良检查系统及其方法。

技术方案

为达成上述目的，根据本发明一个实施例的基板不良检查方法包括：第一不良检查步骤，其在向第一方向移送第一基板的同时检查所述第一基板的一部分；以及第二不良检查步骤，其在向第二方向移送所述第一基板的同时检查所述第一基板的其他部分。其中所述第一方向与所述第二方向不同。

根据本发明另一实施例的基板不良检查系统包括：支撑结构体(Profilestructure)，其包括支撑件(Profile)；第一图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的一部分；以及第二图像获取装置，其设置于所述支撑结构体的其他部分。其中所述第一图像获取装置在第一基板向第一方向移送时检查所述第一基板的一部分，所述第二图像获取装置在所述第一基板向不同于所述第一方向的第二方向移送时检查所述第一基板的其他部分。

根据本发明一个实施例的基板不良检查系统包括作为机械手移动空间的移送通道部、转台及清洗机。其中，在被所述清洗机清洗的第一基板从所述清洗机向所述转台移送期间接受第一次不良检查，在所述第二基板从所述转台移送到所述移送通道部期间接受第二次不良检查。

根据本发明一个实施例的支撑结构体包括：支撑件，其形成有槽；支架，其支撑用于检查不良的图像获取装置；螺母，其插入到所述支撑件的槽内；以及结合构件，其贯通所述支架结合到所述螺母，将所述图像获取装置固定在所述支撑件。

技术效果

本发明的不良检查系统及其方法可利用两个摄像头检查向第一方向移送的第一基板的边缘中的一部分，并利用两个摄像头检查向第二方向移送的第一基板的其他边缘。即，所述不良检查系统用四个摄像头即可检查基板上的所有边缘的不良，设置的摄像头数量比现有的不良检查系统少。因此能够大幅降低上述不良检查系统的费用。

附图说明

图1为显示一般的基板的边缘不良检查的示意图；

图2为显示本发明第一实施例的不良检查系统的示意图；

图3为显示本发明第二实施例的不良检查系统的示意图；

图4为显示本发明一个实施例的处理工序的框图；