[发明专利]智能电子扫描镜在审
申请号: | 201410353413.8 | 申请日: | 2014-07-18 |
公开(公告)号: | CN104157539A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 卓朝旦 | 申请(专利权)人: | 奉化市宇创产品设计有限公司 |
主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/28 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 315500 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 智能 电子扫描 | ||
1.一种智能电子扫描镜,主要由电子发射枪(1)、聚光镜(2)、透镜(3)、扫描仪(4)、取样器(5)、闪烁器(6)、倍增管(7)和显像仪(8)构成,其特征在于:所述聚光镜(2)、透镜(3)和扫描仪(4)依次设置在电子发射枪(1)的发射方向,所述扫描仪(4)连接有发生器(9),所述取样器(5)连接有放大器(10),所述取样器(5)和显像仪(8)之间分别设置有闪烁器(6)和倍增管(7)。
2.根据权利要求1所述的一种智能电子扫描镜,其特征在于,所述扫描仪(4)包括扫描线圈和电子探针。
3.根据权利要求2所述的一种智能电子扫描镜,其特征在于,所述智取样器(5)内设置有取样台(12),取样台(12)上放置样品(11),所述样品(11)表面喷涂有重金属微粒层。
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