[发明专利]智能电子扫描镜

说明书

技术领域

本发明涉及显微领域，尤其涉及一种智能电子扫描镜。

背景技术

在材料科学中，随着半导体器件和新材料等高技术的发展，往往要求对表面的精细结构能观察到分子或原子量级的大小。特别是纳米材料，由于其尺寸被限制在100nm以下，因此需要能够对这种小尺寸的材料进行高精度显像的设备来进一步支撑纳米材料的发展。本发明提出一种智能电子扫描镜，通过设置放大器的反馈来控制电子探针的扫描频率和强度，实现对材料的高精度显像，从而能够对各种材料进行多种形式的表面的观察与分析。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种智能电子扫描镜，主要由电子发射枪、聚光镜、透镜、扫描仪、取样器、闪烁器、倍增管和显像仪构成，所述聚光镜、透镜和扫描仪依次设置在电子发射枪的发射方向，所述扫描仪连接有发生器，所述取样器连接有放大器，所述取样器和显像仪之间分别设置有闪烁器和倍增管。

优选的，上述扫描仪包括扫描线圈和电子探针。

优选的，上述智取样器内设置有取样台，取样台上放置样品，所述样品表面喷涂有重金属微粒层。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例提供的智能电子扫描镜的结构示意图。

附图标记：1-电子发射枪；2-聚光镜；3-透镜；4-扫描仪；5-取样器；6-闪烁器；7-倍增管；8-显像仪；9-发生器；10-放大器；11-样品；12-取样台。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明一实施例提供的智能电子扫描镜的结构示意图，如图1所示，本实施例的智能电子扫描镜主要由电子发射枪1、聚光镜2、透镜3、扫描仪4、取样器5、闪烁器6、倍增管7和显像仪8构成，聚光镜2、透镜3和扫描仪4依次设置在电子发射枪1的发射方向，所述扫描仪4连接有发生器9，所述取样器5连接有放大器10，所述取样器5和显像仪8之间分别设置有闪烁器6和倍增管7，扫描仪4包括扫描线圈和电子探针。智取样器5内设置有取样台12，取样台12上放置样品11，所述样品11表面喷涂有重金属微粒层。

通过电子与样品的相互作用，能够显示样品的各种图像。本实施例的智能电子扫描镜1的电子枪发射电子束，由聚光镜2及透镜3进行聚焦，形成电子束斑，然后照射到样品11表面。电子探针在样品11表面做光栅状扫描，当入射电子打到样品11表面时，将有99％以上的入射电子能量转变成样品热能，约1％的入射电子能量，将激发样品产生各种有用的信息，包括二次电子、背散射电子和X射线等，不同的信息，从样品11中所得到各种信息的强度和分布同样品表面形貌、成分、晶体取向以及表面状态的一些物理性质(如电性质、磁性质等)等因素有关。激发出的次级电子的多少与电子束入射角度和样品11表面的起伏有关，次级电子越多的地方，在影像上相应的点就越亮，反之则暗。次级电子由收集器收集，然后由闪烁器6转变为光信号，再经光电倍增管7转变为电信号来控制显像管上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。

为了使标本11表面发射出次级电子，标本11在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。