[发明专利]一种取向膜的制备方法在审
申请号: | 201410360313.8 | 申请日: | 2014-07-25 |
公开(公告)号: | CN104155805A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 王华锋;王成祥;吴云飞;孟战虎 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 取向 制备 方法 | ||
1.一种取向膜的制备方法,其特征在于,包括:
在基板上形成覆盖基板的有效区域和无效区域的PI液并固化;
去除固化后的PI液位于基板的无效区域内的部分以形成取向层的图形。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述去除固化后的PI液位于基板的无效区域内的部分以形成取向层的图形,具体包括:
采用等离子轰击工艺去除固化后的PI液位于基板上无效区域内的部分以形成取向层的图形。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述采用等离子轰击工艺去除固化后的PI液位于基板上无效区域内的部分以形成取向层的图形,具体包括:
使用掩膜板覆盖所述基板,其中,掩膜板中的间隙与基板上的无效区域对应设置;
采用等离子轰击工艺对掩膜板覆盖的基板进行轰击,以去除基板上固化后的PI液中与掩膜板的间隙对应的部分。
4.根据权利要求3所述的制备方法,其特征在于,掩膜板中的间隙与基板上的无效区域正对设置。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述去除固化后的PI液位于基板的无效区域内的部分以形成取向层的图形,具体包括:
采用刻蚀工艺去除固化后的PI液位于基板上无效区域内的部分以形成取向层的图形。
6.根据权利要求1~5任一项所述的制备方法,其特征在于,所述在基板上涂布覆盖基板的有效区域和无效区域的PI液并固化,具体包括:
在转印版上涂布PI液,所述转印版涂布PI液的区域为整体区域;
将转印版上的涂布的PI液转印至基板上,转印至基板上的PI液覆盖所述基板的有效区域和无效区域;
对涂布于基板上的PI液进行预备干工艺;
对基板上预备干之后的取向层进行PI检测工艺;
对基板上的取向层进行主固化工艺。
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