[发明专利]浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法

权利要求书

1. 一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：根据目标系统流体的传输路线及流体性质，将该系统分为多个具有不同功能的控制模块；分别制定每个控制模块各自的工作流程、状态位及故障位；在控制模块各自的工作流程中采用阻塞方法进行自动模式下各个控制模块之间工作流程的时序配合，通过调用控制模块的接口对手动模式下各个控制模块的工作流程进行控制。

2. 根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：所述的控制模块的工作流程包括待机、开机和关机三个依次进行的工作流程，控制模块的状态位包括开机状态和关机状态，控制模块的故障位包括故障状态和非故障状态。

3. 根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：所述的采用阻塞体系进行各个控制模块之间工作流程的时序配合具体包括以下步骤：各个控制模块首先同时进入各自的工作流程，当控制模块之间需时序配合时，在时序配合中的后置控制模块的工作流程中，对前置控制模块的状态位进行判断，若前置控制模块的当前状态位不符合所需要的状态位时，则后置控制模块的工作流程阻塞，直到前置控制模块的状态位符合所需要的状态位，则后置控制模块继续工作流程。

4. 根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：当监测到某一控制模块出现故障时，则该控制模块对应的故障位设置为故障状态，同时该控制模块进入关机流程对故障进行处理，其他控制模块进入待机流程；当故障经处理排除后，故障处理后的控制模块故障位设置为非故障状态，并重新进入工作流程，其他控制模块继续各自所需的流程。

5. 根据权利要求1所述的一种浸没式光刻机流体控制系统的模块化工作流程控制方法，其特征在于：所述的控制模块提供开机工作流程和关机工作流程的接口，手动模式下通过调用两个接口独立控制每个控制模块的工作流程。