[发明专利]一种卷绕式ITO结晶设备

权利要求书

1.一种卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，包括放膜辊(1)，第一组夹紧辊(2)，高温辊(4)，第二组夹紧辊(5)，收膜辊(6)，第一速度检测传感器(7)，薄膜(8)，第二速度检测传感器(9)；

其中：放膜辊(1)与第一组夹紧辊(2)平行布置在框架上，第一组夹紧辊(2)和高温辊(4)平行布置在框架上；

高温辊(4)和第二组夹紧辊(5)平行布置在框架上，第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)平行布置在框架上；

第一速度检测传感器(7)布置在第二组夹紧辊(5)的下后方；第二速度检测传感器(9)布置在第一组夹紧辊(2)的下前方；

薄膜(8)绕在放膜辊(1)上，顺次通过第一组夹紧辊(2)、高温辊(4)、第二组夹紧辊(5)和收膜辊(6)上。

2.按照权利要求1所述的卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，还包括一个能抽真空环境的封闭箱体(3)；

放膜辊(1)、第一组夹紧辊(2)、高温辊(4)、第二组夹紧辊(5)、收膜辊(6)、第一速度检测传感器(7)、薄膜(8)和第二速度检测传感器(9)均布置在能抽真空环境的封闭箱体(3)内。

3.按照权利要求1所述的卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，还包括控制单元，控制单元为PC。

4.按照权利要求1所述的卷绕式ITO结晶设备，其特征在于：所述的卷绕式ITO结晶设备，还包括电机驱动装置，电机驱动装置分别连接放膜辊(1)、高温辊(4)和收膜辊(6)。