[发明专利]一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种薄膜晶体管的测试装置，其特征在于，包括测试腔和位于所述测试腔内部的支撑部件；其中，所述支撑部件包括平行于所述测试腔底部的支撑板和用于固定所述支撑板的支撑杆；

所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加压探头和测试探头；其中，所述加压探头用于为所述薄膜晶体管提供栅极电压，所述测试探头用于读取所述薄膜晶体管的源极电流；所述加压探头和测试探头分别与控制电路相连；

所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加热部件和照明部件；

所述加热部件位于相对接近所述薄膜晶体管或者正对所述薄膜晶体管的位置处；所述照明部件位于正对所述薄膜晶体管的位置处。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述加热部件包括位于所述测试腔顶部的第一加热部件和/或与所述支撑板直接接触的第二加热部件。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述第一加热部件包括电吹风，所述第二加热部件包括电阻丝。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于，所述支撑板为空心支撑板，所述第二加热部件设置在所述支撑板的内部；

或者，所述支撑板为实心支撑板，所述第二加热部件设置在所述支撑板的下表面。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述照明部件包括位于所述测试腔顶部的第一照明部件和/或位于所述测试腔底部的第二照明部件。

6.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述第一照明部件和所述第二照明部件均为紫外光照明部件。

7.根据权利要求5所述的测试装置，其特征在于，所述支撑板为透明支撑板；

或者，所述支撑板为非透明支撑板，且所述支撑板的中间设置有与所述第二照明部件对应的通孔。

8.一种基于权利要求1-7任一项所述的测试装置的测试方法，其特征在于，所述方法包括：

加压探头为薄膜晶体管提供栅极电压；

测试探头读取薄膜晶体管的源极电流；

根据所述栅极电压和所述源极电流得到所述薄膜晶体管的I-V曲线；

所述加压探头和测试探头分别与控制电路相连；

其中，所述加压探头为薄膜晶体管提供栅极电压包括：

所述加压探头为所述薄膜晶体管提供不同的栅极电压；

或者，所述加压探头为所述薄膜晶体管提供相同的栅极电压，且加热部件对所述薄膜晶体管进行加热；所述加热部件设置于相对接近所述薄膜晶体管或者正对所述薄膜晶体管的位置处；

或者，所述加压探头为所述薄膜晶体管提供相同的栅极电压，且照明部件对所述薄膜晶体管进行光照；所述照明部件设置于正对所述薄膜晶体管的位置处。

9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述加热部件对所述薄膜晶体管进行加热具体包括：

位于测试腔顶部的第一加热部件为所述薄膜晶体管提供热源；和/或

与测试腔中的支撑板直接接触的第二加热部件为所述薄膜晶体管提供热源。

10.根据权利要求9所述的测试方法，其特征在于，所述第一加热部件包括电吹风，所述第二加热部件包括电阻丝。

11.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述照明部件对所述薄膜晶体管进行光照具体包括：

位于测试腔顶部的第一照明部件为所述薄膜晶体管提供光源；和/或

位于测试腔底部的第二照明部件为所述薄膜晶体管提供光源。

12.根据权利要求11所述的测试方法，其特征在于，所述第一照明部件和所述第二照明部件均为所述薄膜晶体管提供紫外光源。