[发明专利]一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法

说明书

技术领域

本发明涉及光电技术领域，尤其涉及一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法。

背景技术

信赖性，即可靠性，可以理解为产品在正常条件下的使用寿命。其中，针对包括薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)的电子产品而言，所述TFT的信赖性测试是电子产品制造过程中的重要组成部分，同时也是评价电子产品质量的重要手段。

基于此，本技术领域亟须一种能对薄膜晶体管的信赖性进行全面检测的测试装置。

发明内容

本发明的实施例提供一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法，可提供一种多元化的信赖性测试系统，从而提高薄膜晶体管的可信赖度，同时简化薄膜晶体管的测试过程。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种薄膜晶体管的测试装置，包括测试腔和位于所述测试腔内部的支撑部件；其中，所述支撑部件包括平行于所述测试腔底部的支撑板和用于固定所述支撑板的支撑杆；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加压探头和测试探头；其中，所述加压探头用于为所述薄膜晶体管提供栅极电压，所述测试探头用于读取所述薄膜晶体管的源极电流；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加热部件和照明部件。

可选的，所述加热部件包括位于所述测试腔顶部的第一加热部件和/或与所述支撑板直接接触的第二加热部件。

进一步可选的，所述第一加热部件包括电吹风，所述第二加热部件包括电阻丝。

进一步的，所述支撑板为空心支撑板，所述第二加热部件设置在所述支撑板的内部；或者，所述支撑板为实心支撑板，所述第二加热部件设置在所述支撑板的下表面。

可选的，所述照明部件包括位于所述测试腔顶部的第一照明部件和/或位于所述测试腔底部的第二照明部件。

进一步可选的，所述第一照明部件和所述第二照明部件均为紫外光照明部件。

进一步的，所述支撑板为透明支撑板；或者，所述支撑板为非透明支撑板，且所述支撑板的中间设置有与所述第二照明部件对应的通孔。

可选的，所述加压部件包括支撑底座和加压探针；其中，所述支撑底座设置在所述支撑板上。

另一方面，提供一种基于上述测试装置的测试方法，所述方法包括：加压探头为薄膜晶体管提供栅极电压；测试探头读取薄膜晶体管的源极电流；根据所述栅极电压和所述源极电流得到所述薄膜晶体管的I-V曲线；其中，所述加压探头为薄膜晶体管提供栅极电压包括：所述加压探头为所述薄膜晶体管提供不同的栅极电压；或者，所述加压探头为所述薄膜晶体管提供相同的栅极电压，且加热部件对所述薄膜晶体管进行加热；或者，所述加压探头为所述薄膜晶体管提供相同的栅极电压，且照明部件对所述薄膜晶体管进行光照。

可选的，所述加热部件对所述薄膜晶体管进行加热具体包括：位于测试腔顶部的第一加热部件为所述薄膜晶体管提供热源；和/或与测试腔中的支撑板直接接触的第二加热部件为所述薄膜晶体管提供热源。

进一步可选的，所述第一加热部件包括电吹风，所述第二加热部件包括电阻丝。

可选的，所述照明部件对所述薄膜晶体管进行光照具体包括：位于测试腔顶部的第一照明部件为所述薄膜晶体管提供光源；和/或位于测试腔底部的第二照明部件为所述薄膜晶体管提供光源。

进一步可选的，所述第一照明部件和所述第二照明部件均为所述薄膜晶体管提供紫外光源。

本发明的实施例提供一种薄膜晶体管的测试装置及测试方法，所述测试装置包括测试腔和位于所述测试腔内部的支撑部件；其中，所述支撑部件包括平行于所述测试腔底部的支撑板和用于固定所述支撑板的支撑杆；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加压探头和测试探头；其中，所述加压探头用于为所述薄膜晶体管提供栅极电压，所述测试探头用于读取所述薄膜晶体管的源极电流；所述测试装置还包括位于所述测试腔内部的加热部件和照明部件。