[发明专利]一种MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：

基底；

贯穿所述基底的声腔；

设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层；

设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的振膜；

设置在所述振膜表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层；

设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对区域的背极，所述背极形状与所述振膜形状相匹配；

其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋通过所述振动区域的中心，所述加强筋相对于所述中心对称，且相邻两个加强筋之间的夹角相同。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋的一端与所述振动区域的中心重合，任意相邻两个加强筋之间的夹角相同，任意两条所述加强筋不在同一直线。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋区域包括：中心圆形区域，所述中心圆形区域的圆心为所述振动区域的中心；所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋的一端朝向所述中心且位于所述圆形区域的圆形边缘，另一端背离所述中心；任意相邻两个加强筋之间的夹角相同。

5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于，还包括：

设置在所述中心圆形区域的同心圆环结构加强筋。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋是设置在所述振膜正面的加强筋凹槽，所述加强筋凹槽的延伸方向平行于所述振动区域径向。

7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述加强筋凹槽的宽度范围为0.4μm-10μm，包括端点值；所述加强筋凹槽的深度范围为0.1μm-20μm，包括端点值；所述加强筋凹槽之间的间距为0.4μm-10μm，包括端点值。

8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述纹膜为设置在所述纹膜区域的纹膜凹槽。

9.根据权利要求8所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述纹膜凹槽的宽度范围为0.4μm-10μm，包括端点值；所述纹膜凹槽的深度范围为0.1μm-20μm，包括端点值；所述纹膜凹槽的间距为0.4μm-10μm，包括端点值。