[发明专利]一种MEMS麦克风

说明书

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，更具体地说，涉及一种MEMS麦克风。

背景技术

近年来，利用MEMS(Micro-Electro-Mechanical-System，简称MEMS)工艺集成的MEMS麦克风由于具有封装体积小、可靠性高、成本低等优点，本广泛应用于手机、平板电脑、相机、助听器、智能玩具以及监听装置等电子产品中。

MEMS麦克风在声腔的一个开口处设置有相对设置的振膜和背极。所述振膜和背极之间具有间距，所述振膜与背极形成检测电容。不同强度的声音振动导致所述振膜与所述背极之间的声压不同，从而导致所述振膜发生不同程度的振动，进而使得所述检测电容改变，通过声音控制芯片感知所述检测电容的变化，从而实现将声音信号转换为电信号，实现对声音信号的探测。

现有的MEMS麦克风会由于振膜四周与中间振动幅度不同，会导致其与背极之间的声压不均匀，从而影响MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种MEMS麦克风，提高了振膜与背极之间声压的均匀性，保证了MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风包括：

基底；

贯穿所述基底的声腔；

设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层；

设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的振膜；

设置在所述振膜表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层；

设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对区域的背极，所述背极形状与所述振膜形状相匹配；

其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋通过所述振动区域的中心，所述加强筋相对于所述中心对称，且相邻两个加强筋之间的夹角相同。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋的一端与所述振动区域的中心重合，任意相邻两个加强筋之间的夹角相同，任意两条所述加强筋不在同一直线。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋区域包括：中心圆形区域，所述中心圆形区域的圆心为所述振动区域的中心；所述加强筋区域设置有多条加强筋，所述加强筋的一端朝向所述中心且位于所述圆形区域的圆形边缘，另一端背离所述中心；任意相邻两个加强筋之间的夹角相同。

优选的，在上述MEMS麦克风中，还包括：

设置在所述中心圆形区域的同心圆环结构加强筋。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋是设置在所述振膜正面的加强筋凹槽，所述加强筋凹槽的延伸方向平行于所述振动区域径向。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述加强筋凹槽的宽度范围为0.4μm-10μm，包括端点值；所述加强筋凹槽的深度范围为0.1μm-20μm，包括端点值；所述加强筋凹槽之间的间距为0.4μm-10μm，包括端点值。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述纹膜为设置在所述纹膜区域的纹膜凹槽。

优选的，在上述MEMS麦克风中，所述纹膜凹槽的宽度范围为0.4μm-10μm，包括端点值；所述纹膜凹槽的深度范围为0.1μm-20μm，包括端点值；所述纹膜凹槽的间距为0.4μm-10μm，包括端点值。

从上述技术方案可以看出，本发明所提供的MEMS麦克风包括：基底；贯穿所述基底的声腔；设置在所述基底正面，位于所述声腔四周的第一绝缘层；设置在所述第一绝缘层表面，且覆盖与所述声腔相对的区域的设定形状的振膜；设置在所述振膜表面与所述第一绝缘层相对区域的第二绝缘层；设置在所述第二绝缘层表面，且覆盖所述振膜与所述声腔相对区域的背极，所述背极形状与所述振膜形状相匹配；其中，所述振膜的振动区域包括：加强筋区域以及包围所述加强筋区域的纹膜区域；所述加强筋区域设置有与所述振动区域径向平行的加强筋；所述纹膜区域设置有纹膜。所述技术方案通过所述加强筋提高了振膜与背极之间声压的均匀性，保证了MEMS麦克风将声音信号转换为电信号的性能。

附图说明