[发明专利]一种对缺陷进行选择性检测的方法

权利要求书

1.一种对缺陷进行选择性检测的方法，其特征在于，包括：

通过缺陷检测设备检测晶圆中的每个芯片；

对检测到的芯片上的缺陷的位置数据进行记录；

将不要被再次检测到的缺陷所对应的位置数据设置于所述缺陷检测设备中，缺陷检测设备根据所述位置数据对后续晶圆中的芯片的缺陷进行选择性检测：首先，所述缺陷检测设备对后续检测的芯片的缺陷数据图形与所述位置数据进行对比，将与所述位置数据中的坐标相近的区域的缺陷过滤掉；或者所述缺陷检测设备将所述不要被再次检测到的缺陷根据其位置数据进行分类，将后续具有相同类型的缺陷过滤掉；然后，所述缺陷检测设备对未过滤掉的缺陷进行检测；

或者将所述缺陷的位置数据选择性地设置于所述缺陷检测设备中；缺陷检测设备根据所述位置数据对后续晶圆中的芯片的缺陷进行选择性检测：所述缺陷检测设备根据所述位置数据对芯片进行扫描，在扫描到与需要进行灵敏度提升的缺陷的位置数据中的坐标相近的区域时，自动提升检测的灵敏度。

2.根据权利要求1所述的对缺陷进行选择性检测的方法，其特征在于，所述对检测到的芯片上的缺陷的位置数据进行记录，具体包括：

在缺陷检测设备上设定各个芯片在晶圆上的分布图，并对每个芯片进行唯一编号；

设置每个芯片的坐标系；

对检测到的芯片上的缺陷进行唯一编号，并找到每个缺陷在所在芯片的坐标系中的坐标；

将每个缺陷所对应的坐标、缺陷的编号、以及芯片的编号作为每个缺陷的一组位置数据。

3.根据权利要求1所述的对缺陷进行选择性检测的方法，其特征在于，所述相近的区域为：以所述坐标为中心向外延伸0～100um范围内。

4.根据权利要求1所述的对缺陷进行选择性检测的方法，其特征在于，所述缺陷检测设备具有缺陷检测模块，将所述位置数据选择性地嵌入所述缺陷检测模块中。