[发明专利]曝光设备的光源模块在审
申请号: | 201410383379.9 | 申请日: | 2014-08-06 |
公开(公告)号: | CN105334702A | 公开(公告)日: | 2016-02-17 |
发明(设计)人: | 周坤麟;何立克 | 申请(专利权)人: | 叙丰企业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B7/02 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所(普通合伙) 11276 | 代理人: | 宋菲;刘云贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 设备 光源 模块 | ||
1.一种曝光设备的光源模块,其特征在于,包含:
基座,具有容置槽;
第一透镜,设置于该基座的容置槽的开口上;
光源单元,设置于该容置槽的底面,该光源单元具有电路板及设置于该电路板上的LED;
第二透镜,设置于该LED上,该第二透镜的面积小于该第一透镜;以及
第一调整件或第二调整件,该第一调整件连接该第一透镜与该基座,用于调整该第一透镜与该第二透镜间的距离,该第二调整件连接该第二透镜与该基座,用于调整该第一透镜与该第二透镜间的距离;
其中,该光源单元的LED发出的光线经由第二透镜折射后再被该第一透镜折射而呈平行光射出。
2.如权利要求1所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该第一透镜朝向该第二透镜的第一表面为平面,该第二透镜朝向该LED的第二表面为平面。
3.如权利要求1所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该第一调整件为垫片,该第二调整件为垫片。
4.如权利要求2所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该第一调整件为垫片,该第二调整件为垫片。
5.如权利要求1至4中任一项所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该LED为紫外光LED。
6.如权利要求1至4中任一项所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该LED发出的光线的波长为365nm。
7.如权利要求1至4中任一项所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,该光源单元具有设置于该电路板上的温度传感器。
8.如权利要求1至4中任一项所述的曝光设备的光源模块,其特征在于,进一步包含一散热件,其连接该电路板。
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