[发明专利]抛光头有效
申请号: | 201410384793.1 | 申请日: | 2014-08-07 |
公开(公告)号: | CN104162834B | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 陈菊芳 | 申请(专利权)人: | 陈菊芳 |
主分类号: | B24B41/047 | 分类号: | B24B41/047;H01L21/304 |
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地址: | 325200 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 抛光 | ||
1.抛光头,包括上盖盘(1)、中盖盘(2)和下盖盘(3),上盖盘(1)连接有旋转轴(4),下盖盘(3)连接有夹持器(5),其特征在于:所述上盖盘(1)和中盖盘(2)之间均匀设置有若干个连杆(6),连杆(6)的上端铰接于上盖盘(1)的中心,连杆(6)的下端铰接于中盖盘(2)的边缘,连杆(6)的上端与上盖盘(1)之间设置有橡胶缓冲垫(7),中盖盘(2)的边缘设置有圆形夹片(8),连杆(6)的下端铰接于圆形夹片(8)内;所述中盖盘(2)和下盖盘(3)之间设置有液压缓冲层(9),液压缓冲层(9)的外侧设置有硅胶外壁(10),液压缓冲层(9)内同心设置有第一缓冲环(11),第一缓冲环(11)内设置有叠片层(12)。
2.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于:所述旋转轴(4)两侧对称设置有两个弧形空心管(13),弧形空心管(13)内设置有重球(14),重球(14)与弧形空心管(13)过盈配合。
3.根据权利要求2所述的抛光头,其特征在于:所述弧形空心管(13)为椭圆弧,单个重球(14)的重量占抛光头总重量的20%~25%,弧形空心管(13)在上盖盘(1)投影的长度为上盖盘(1)半径的1.2倍~1.5倍。
4.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于:所述下盖盘(3)内环形设置有若干个通气孔(15),通气孔(15)包括与下盖盘(3)底面相通的毛细管(16),毛细管(16)的进口处设置有斜面(17),毛细管(16)上方设置有敞口管(18),敞口管(18)的敞口端与下盖盘(3)的侧壁相通。
5.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于:所述液压缓冲层(9)设置有第二缓冲环(19),第二缓冲环(19)与第一缓冲环(11)相通,第二缓冲环(19)内设置有网格层(20)。
6.根据权利要求5所述的抛光头,其特征在于:所述第一缓冲环(11)和第二缓冲环(19)之间设置有球形缓冲带(21)。
7.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于:所述圆形夹片(8)内侧设置有支杆(22),连杆(6)通过扭簧(23)铰接在支杆(22)上,圆形夹片(4)内侧设置有波浪状的橡胶起伏层(24),连杆(6)与橡胶起伏层(24)过盈配合。
8.根据权利要求1所述的抛光头,其特征在于:所述夹持器(5)包括保持环(25),保持环(25)内侧设置有台阶(26),台阶(26)顶部设置有气囊环(27),台阶(26)的中心设置有负压吸盘(27),负压吸盘(27)内设置有若干个硬质支持环(28)。
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