[发明专利]一种高真空微量气体自动进样系统及其使用方法

权利要求书

1.一种高真空微量气体自动进样系统，其特征在于：该系统包括自动控制装置、真空主管线（18）及储样罐Ⅰ（8）、储样罐Ⅱ（9）、金属漏孔（3）；所述真空主管线（18）上设有进样口（1），其前端伸入高真空密封的气体装置（7）中，其末端通过所述金属漏孔（3）与高真空质谱仪相连，并与所述储样罐Ⅰ（8）、所述储样罐Ⅱ（9）相连；所述进样口（1）与所述储样罐Ⅰ（8）之间的所述真空主管线（18）上设有真空支管Ⅰ（19）；所述储样罐Ⅰ（8）与所述储样罐Ⅱ（9）之间的所述真空主管线（18）上设有真空支管Ⅱ（20）；所述真空支管Ⅰ（19）的末端与所述真空支管Ⅱ（20）相接，该真空支管Ⅱ（20）的末端连有分子泵（5）；所述分子泵（5）连有机械泵（6）；所述进样口（1）与所述真空支管Ⅰ（19）之间的所述真空主管线（18）上设有气动高真空阀Ⅵ（15）；所述真空支管Ⅰ（19）上设有气动高真空阀Ⅲ（12）；所述真空支管Ⅰ（19）与所述储样罐Ⅰ（8）之间的所述真空主管线（18）上依次设有气动高真空阀Ⅴ（14）、气动高真空阀Ⅱ（11）；所述真空支管Ⅱ（20）上设有气动高真空阀Ⅳ（13）；所述储样罐Ⅰ（8）通过气动高真空阀Ⅶ（16）与所述真空主管线（18）相接；所述储样罐Ⅱ（9）通过气动高真空阀Ⅷ（17）与所述真空主管线（18）相接；所述储样罐Ⅱ（9）与所述金属漏孔（3）之间的所述真空主管线（18）上设有气动高真空阀Ⅰ（10）；所述自动控制装置包括设有RS232接口（24）的计算机（21）、空气压缩机（22）、继电器板（23）、电源（26）；所述RS232接口（24）与所述继电器板（23）相连，该继电器板（23）分别连有SV1~SV8共计8个电磁阀（25）；所述8个电磁阀（25）分别与所述空气压缩机（22）和所述电源（26）相连；所述8个电磁阀（25）分别与所述气动高真空阀Ⅰ（10）、气动高真空阀Ⅱ（11）、气动高真空阀Ⅲ（12）、气动高真空阀Ⅳ（13）、气动高真空阀Ⅴ（14）、气动高真空阀Ⅵ（15）、气动高真空阀Ⅶ（16）、气动高真空阀Ⅷ（17）一一对应相连。

2.如权利要求1所述的一种高真空微量气体自动进样系统，其特征在于：所述分子泵（5）与所述机械泵（6）之间设有低真空计（4）。

3.如权利要求1所述的一种高真空微量气体自动进样系统，其特征在于：所述分子泵（5）无负载时入口压强小于1×10^-6Pa。

4.如权利要求1所述的一种高真空微量气体自动进样系统，其特征在于：与所述气动高真空阀Ⅷ（17）相对的所述真空主管线（18）的另一侧设有薄膜真空计（2）。

5.如权利要求1所述的一种高真空微量气体自动进样系统，其特征在于：所述金属漏孔（3）包括凹法兰（31）和凸法兰（32）；所述凹法兰（31）与所述凸法兰（32）之间设有带孔金属垫片。