[发明专利]基板的涂敷装置以及基板的涂敷方法

权利要求书

1.一种基板的涂敷装置，其通过从喷嘴喷出的涂液对基板进行涂敷处理，并通过固化机构对被涂敷在该基板上的涂液进行固化处理，所述喷嘴以升降自如的方式被行走于行走轨道上的喷嘴用支承柱支承，所述基板的涂敷装置的特征在于，

具备固化机构用支承柱，所述固化机构用支承柱独立于喷嘴用支承柱的行走而单独地行走于上述行走轨道上，并且以独立于上述喷嘴的升降动作的方式单独地支承上述固化机构并使其升降自如。

2.根据权利要求1所述的基板的涂敷装置，其特征在于，

所述行走轨道由第一行走轨道构件和第二行走轨道构件构成，所述第一行走轨道构件以接近所述基板的方式配置，所述第二行走轨道构件以与该第一行走轨道构件相比远离该基板的方式配置，所述喷嘴用支承柱在上述第一行走轨道构件上行走，所述固化机构用支承柱在上述第二行走轨道构件上行走，该固化机构用支承柱支承所述固化机构并使其以到达所述喷嘴的上方的升降行程量升降自如。

3.根据权利要求1所述的基板的涂敷装置，其特征在于，

所述行走轨道由第一行走轨道构件和第二行走轨道构件构成，所述第一行走轨道构件以接近所述基板的方式配置，所述第二行走轨道构件以与该第一行走轨道构件相比远离该基板的方式配置，所述固化机构用支承柱在上述第一行走轨道构件上行走，所述喷嘴用支承柱在上述第二行走轨道构件上行走，该喷嘴用支承柱支承所述喷嘴并使其以到达所述固化机构的上方的升降行程量升降自如。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板的涂敷装置，其特征在于，

所述固化机构为UV照射体、发热体或干燥机。

5.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求1所述的基板的涂敷装置而对基板进行涂敷，其特征在于，

包括：

涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理；

涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走。

6.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求2所述的基板的涂敷装置，使所述喷嘴及所述固化机构往返行走并对基板进行涂敷，所述基板的涂敷方法的特征在于，

包括：

涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理；

涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走；

位置交换步骤，至少在结束涂液从上述喷嘴的喷出，并使上述喷嘴用支承柱及上述固化机构用支承柱停止后，执行上述固化机构的向该喷嘴上方的上升、该固化机构用支承柱的向该固化机构跨越该喷嘴的位置的行走、以及该固化机构的下降，从而相对于相反方向的行走方向对该喷嘴和该固化机构进行交换排序，

所述基板的涂敷方法反复实施从上述涂敷处理步骤到上述位置交换步骤的过程。

7.一种基板的涂敷方法，其使用权利要求3所述的基板的涂敷装置，使所述喷嘴及所述固化机构反复行走并对基板进行涂敷，所述基板的涂敷方法的特征在于，

包括：

涂敷处理步骤，使所述喷嘴用支承柱从位于行走方向前方的所述基板的涂敷开始端向涂敷末端行走并通过从所述喷嘴喷出的涂液对该基板进行涂敷处理，并且使所述固化机构用支承柱从喷嘴用支承柱的行走方向后方追随于该喷嘴用支承柱而从该基板的涂敷开始端向涂敷末端行走，并通过所述固化机构对涂敷在该基板上的涂液进行固化处理；

涂敷末端处理步骤，在到达上述基板的涂敷末端区域时，上述喷嘴用支承柱使上述喷嘴上升并行走，另一方面，上述固化机构用支承柱将上述固化机构的高度位置维持固定并行走；

位置交换步骤，至少在结束涂液从上述喷嘴的喷出，并使上述喷嘴用支承柱及上述固化机构用支承柱停止后，执行该喷嘴的向上述固化机构上方的上升、该喷嘴用支承柱的向该喷嘴跨越该固化机构的位置的行走、以及该喷嘴的下降，从而相对于相反方向的行走方向对该喷嘴和该固化机构进行交换排序，

所述基板的涂敷方法反复实施从上述涂敷处理步骤到上述位置交换步骤的过程。